您的位置： 专家智库 > >

李广义

作品数：35 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 35篇中文专利

领域

  • 4篇自动化与计算...
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 18篇支撑脚
  • 13篇机械手
  • 10篇半导体
  • 8篇螺母
  • 7篇占地面积
  • 7篇晶圆
  • 6篇半导体工艺
  • 6篇半导体工艺设...
  • 5篇脚本
  • 5篇传送
  • 5篇磁铁
  • 4篇旋转体
  • 4篇旋转轴
  • 4篇氧化炉
  • 4篇竖直
  • 4篇转轴
  • 4篇紧固
  • 4篇紧固件
  • 4篇传送系统
  • 3篇导轨

机构

  • 35篇北京七星华创...

作者

  • 35篇李广义
  • 23篇赵宏宇
  • 11篇裴立坤
  • 9篇徐俊成
  • 6篇张豹
  • 5篇王营营
  • 5篇孙文婷
  • 3篇何金群
  • 2篇高浩
  • 1篇吴仪

年份

  • 1篇2018
  • 3篇2017
  • 3篇2016
  • 8篇2015
  • 9篇2014
  • 5篇2013
  • 6篇2012
共 35 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
一种多层存储台装置
本发明公开了一种多层存储台装置，其调平底座包括位于下层的支撑板，位于上层的调节板，设于支撑板和调节板之间的调平部件，以及固定支撑板和调节板的锁紧部件；其支撑脚支撑为成对的支撑脚支撑架，调节板通过一对相向设置的连接侧板与所...
李广义王锐廷赵宏宇张豹裴立坤
文献传递
一种半导体晶圆的支撑装置
本发明公开了一种半导体晶圆的支撑装置，包括安装在半导体工艺设备晶圆传送系统中晶圆存储台上端的环形支撑环，安装在支撑环圆周上的支撑晶圆的若干支撑脚，其特征在于，所述支撑脚为L形，其L形竖直部分的上端设有晶圆支撑面，其L形水...
李广义赵宏宇
文献传递
一种多层存储台装置
本实用新型公开了一种多层存储台装置，其调平底座包括位于下层的支撑板，位于上层的调节板，设于支撑板和调节板之间的调平部件，以及固定支撑板和调节板的锁紧部件；其支撑脚支撑为成对的支撑脚支撑架，调节板通过一对相向设置的连接侧板...
李广义王锐廷赵宏宇张豹裴立坤
文献传递
螺母衬套
本实用新型公开了一种螺母衬套，包括：螺母衬套壳和螺母衬套板，所述螺母衬套壳上设有用于与连接螺母衬套板的通孔和用于螺母旋转轴穿过的孔，所述螺母衬套板上设有用于与连接螺母衬套壳的挡块和用于螺母凸台部分穿过的孔；所述挡块插设于...
李广义裴立坤赵宏宇王锐廷
文献传递
用于反应腔室的密封装置
本实用新型公开了一种用于反应腔室的密封装置，通过在反应腔室门孔与反应腔室门对应位置之间设置相配合的第一、第二磁铁，并采用弹簧将第二磁铁与反应腔室门连接，利用磁铁之间异极性相吸的原理和弹簧的拉力，来实现对反应腔室门孔的密封...
李广义赵宏宇裴立坤
文献传递
用于安装面板的装置
本发明公开了一种用于安装面板的装置，涉及面板安装技术领域。所述装置包括：外套、旋转体和内舌；所述外套连接所述旋转体；沿所述装置的长度方向，在所述外套的内部相邻设置有内舌孔和紧固孔；所述内舌设置在所述内舌孔中；沿与所述内舌...
李广义
一种多层存储台装置
本发明公开了一种多层存储台装置，其调平底座包括位于下层的支撑板，位于上层的调节板，设于支撑板和调节板之间的调平部件，以及固定支撑板和调节板的锁紧部件；其支撑脚支撑为成对的支撑脚支撑架，调节板通过一对相向设置的连接侧板与所...
李广义王锐廷赵宏宇张豹裴立坤
文献传递
一种半导体晶圆的支撑装置
本发明公开了一种半导体晶圆的支撑装置，包括安装在半导体工艺设备晶圆传送系统中晶圆存储台上端的环形支撑环，安装在支撑环圆周上的支撑晶圆的若干支撑脚，其特征在于，所述支撑脚为L形，其L形竖直部分的上端设有晶圆支撑面，其L形水...
李广义赵宏宇
文献传递
一种用于盘状物的支撑装置
本实用新型公开了一种用于盘状物的支撑装置，用于支撑圆盘状的晶圆，装置的支撑脚采用L形外形，其L形竖直部分的上端设有各由至少一个面构成的晶圆支撑面及其外侧背靠的外倾斜面，外倾斜面的上端具有水平端面，支撑脚的L形水平部分与支...
李广义赵宏宇张豹徐俊成孙文婷
文献传递
铜互连后清洗设备
1.本外观设计产品的名称：铜互连后清洗设备。;2.本外观设计产品的用途：用于铜工艺的互连阶段，多孔性low-k介质材料集成的清洗。;主要去除光刻胶残留、颗粒、通孔内的有机聚合物以及硅片边沿和背面的铜金属。;3.本外观设计...
赵宏宇裴立坤高浩李广义贾星杰徐俊成
文献传递
全选 清除 导出
共4页<1234>
聚类工具0