孙延东
- 作品数：6 被引量：0H指数：0
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- SPC在石英音叉陀螺光刻工艺中的应用
- 音叉陀螺光刻对准精度直接影响石英音叉结构的不对称性,而石英音叉结构的不对称性是陀螺正交耦合误差的根源.为了提高石英音叉陀螺光刻工艺的水平,采用SPC(Statistical Process Control)统计过程控制方...
- 路文一孟丽期金小锋郭亚北孙延东
- 关键词：石英音叉陀螺光刻工艺误差分析
- 闭环石英音叉陀螺的设计
- 本文在分析了开环石英音叉陀螺缺点的基础上,提出了一种闭环模式工作的石英音叉陀螺,通过PID校正环节的调节作用,改善陀螺的动态特性,并有效地抑制正交耦合振动,仿真分析表明:闭环结构,可以达到在不牺牲信噪比的条件下,提高带宽...
- 孙延东金小锋邹江波
- 关键词：MEMS石英音叉陀螺PID调节反馈控制
- 文献传递
- 石英音叉陀螺正交误差修调方法的研究
- 正交误差是石英音叉陀螺的主要误差源之一,使用激光烧除质量的方式可以将正交误差控制在较小范围.分析了正交误差产生的机理,通过有限元仿真研究了在去除质量时正交输出、驱动频率与拾取频率的变化关系,并对实际测试与仿真结果进行了比...
- 郭亚北孙延东金小锋
- 关键词：石英音叉陀螺有限元仿真
- 文献传递
- 基于PGA309的薄膜压力传感器及其标定系统的设计
- 由于微加工工艺以及薄膜应变式工作原理等因素，使得薄膜压力传感器普遍存在温度漂移误差、非线性误差，影响传感器全温区测量精度，本文针对薄膜压力传感器的这些误差特性，设计了基于PGA309的薄膜压力传感器及其标定系统。信号处理...
- 孙延东王明明朱大治陈杉杉金小锋张世名
- 关键词：薄膜压力传感器误差补偿
- 基于SiC的MEMS电容式微压传感器的信号检测
- 基于SiC的MEMS电容式微压传感器可以工作在高温环境中，其采用电容式感压膜片感测外界压强的变化。为了实现高温环境下对电容信号的检测，本文采用驱动屏蔽电缆将感压膜片的电容信号引出到低温环境中进行检测，电容信号检测基于单片...
- 孙延东陈倩杨丹陶晋金小锋
- 关键词：电容测量
- 石英音叉陀螺同相误差的全温特性分析
- 对石英音叉陀螺零位的同相误差源进行分析测试.利用锁相放大器信噪比高的优点,对陀螺拾取电路交流信号测量,得到同相误差源的温度特性曲线,同时给出了同相误差的主要来源—静电耦合、驱动力耦合和阻尼耦合的全温特性分析.同相误差是陀...
- 杨丹孙延东金小锋陈倩王健路文一
- 关键词：石英音叉陀螺稳定性
