路文一
- 作品数：16 被引量：10H指数：2
- 供职机构：航天长征火箭技术有限公司更多>>
- 发文基金：国家部委预研基金国防科技技术预先研究基金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程航空宇航科学技术更多>>
- 石英音叉陀螺芯片工艺误差的影响分析被引量：1
- 2008年
- 加工高质量的石英音叉需要解决工艺误差导致的机械耦合误差及频率漂移等问题。使用测量显微镜对石英音叉驱动叉指的长度和宽度在主要工艺过程中的变化进行了测量,其中以石英音叉化学腐蚀引入的尺寸误差较大。采用有限元法建立了引入工艺误差的仿真模型,得到的仿真结果更接近实际测试数据。质量平衡调节可以有效地补偿工艺误差,消除机械耦合误差,提高石英音叉陀螺的性能。
- 路文一崔芳闫海冯立辉孙雨南
- 关键词：石英音叉化学腐蚀有限元法
- 小型双轴石英陀螺设计研究
- 本文介绍了一种小型双轴石英音叉陀螺的设计，利用以ASIC芯片为核心的模拟电路与ARM实现的数字电路实现两个轴向角速率信号的测量。模拟电路完成对两个轴向石英陀螺敏感元件的驱动与解调；数字电路实现对输出的石英陀螺拾取信号的温...
- 陈倩杨丹路文一金小锋陶晋
- 关键词：双轴
- 石英音叉陀螺阻抗特性的实验研究
- 2009年
- 为改善石英音叉的质量,提高陀螺性能,采用了质量平衡调节叉指对称性的方法改善音叉阻抗特性,测试了阻抗特性对音叉驱动及机械耦合误差的影响.实验结果表明,通过对驱动叉指的对称性进行质量平衡调节,驱动叉指的品质因数明显提高,驱动电压明显下降,机械耦合误差也得到有效消除,音叉阻抗特性得到改善.
- 路文一崔芳冯立辉孙雨南
- 关键词：石英音叉阻抗特性陀螺
- SPC在石英音叉陀螺光刻工艺中的应用
- 音叉陀螺光刻对准精度直接影响石英音叉结构的不对称性,而石英音叉结构的不对称性是陀螺正交耦合误差的根源.为了提高石英音叉陀螺光刻工艺的水平,采用SPC(Statistical Process Control)统计过程控制方...
- 路文一孟丽期金小锋郭亚北孙延东
- 关键词：石英音叉陀螺光刻工艺误差分析
- 一种基于储能焊接方式的双腔室金属封装外壳及封装方法
- 一种基于储能焊接方式的双腔室金属封装外壳，包括位于上方的敏感元件安装腔体和位于下方的电子元器件安装腔体两个封装腔室，两个封装腔室分体加工，独立制作，独立制作敏感元件安装腔体适用于储能焊接工艺，两个腔室焊接起来保证气密性，...
- 郭亚北路文一孟丽娜杨丹陶晋段亚飞王健金小锋
- 文献传递
- 一种基于储能焊接方式的双腔室金属封装外壳及封装方法
- 一种基于储能焊接方式的双腔室金属封装外壳，包括位于上方的敏感元件安装腔体和位于下方的电子元器件安装腔体两个封装腔室，两个封装腔室分体加工，独立制作，独立制作敏感元件安装腔体适用于储能焊接工艺，两个腔室焊接起来保证气密性，...
- 郭亚北路文一孟丽娜杨丹陶晋段亚飞王健金小锋
- 电镀金属厚膜质量均匀性的仿真与优化
- 在石英音叉陀螺微细加工工艺中，使用电镀工艺制作激光修调质量块，用于消除正交耦合误差。本文重点分析了电场强度和对流传质对电镀质量块均匀性的影响。采用ANSYS有限元分析软件对电镀过程中的电场强度分布进行了模拟分析，模拟和试...
- 闫海郭亚北孟丽娜于慧路文一
- 关键词：电镀均匀性ANSYS
- 一种三维石英微机械结构表面电极的加工方法
- 本发明涉及石英微机械加工技术领域，具体是涉及一种三维石英微机械结构表面电极的加工方法。清洗三维石英微机械结构的金属膜表面；在清洗后的金属膜表面上喷胶得到光刻胶层，然后对光刻胶层进行曝光、显影，最后进行光刻胶层的坚膜；采用...
- 孟丽娜路文一闫海郭亚北陈艳
- 文献传递
- 光刻误差对石英音叉陀螺正交误差的影响分析
- 为了降低石英音叉陀螺的正交耦合误差,提高陀螺性能,测试了不同光刻对准情况下的石英音叉敏感元件的正交耦合误差,并测量了石英音叉的形貌,采用有限元分析建立了不同光刻误差的石英音叉仿真模型.通过对仿真结果及测试数据进行分析,结...
- 孟丽娜路文一
- 关键词：石英音叉陀螺有限元分析
- 文献传递
- 石英音叉陀螺机械及静电耦合误差的消除被引量：4
- 2009年
- 为了消除石英音叉陀螺中音叉不对称产生的机械耦合误差及驱动电极与拾取电极间分布电容引入的静电耦合误差,分别采用了质量平衡调节消除机械耦合误差及设计补偿电路消除静电耦合误差的方法.实验结果表明,该方法基本消除了石英音叉陀螺的机械和静电耦合误差,陀螺性能得到明显提高.
- 路文一崔芳冯立辉孙雨南
- 关键词：石英音叉陀螺
