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程志辉
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安徽铜峰电子股份有限公司
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相关领域:
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合作作者
章晓红
安徽铜峰电子股份有限公司
江百川
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唐兵
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1篇
2005
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薄膜测厚技术工艺研究
王晓云
唐兵
吴永军
章晓红
俞自力
程志辉
江百川
确定模头螺栓控制区域及测量剖面的对应关系;调整控制软件,以达到控制的准确性;确定测量中心位置;采用国外的“TCE”理论,完善现有的“PID”控制过程,以优化测厚控制软件。主要技术指标为:平均厚度偏差:±2%,优等品率:≥...
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测厚
控制软件
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