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齐步坤
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供职机构:
中国电子科技集团公司第五十五研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
赵建君
中国电子科技集团公司第五十五研...
邓雪华
中国电子科技集团公司第五十五研...
孙健
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中国电子科技集团公司第五十五研...
施国政
中国电子科技集团公司第五十五研...
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齐步坤
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新型电力电子器件用硅外延片
谭卫东
金龙
骆红
马林宝
马利行
施国政
邓雪华
杨帆
赵建君
孙健
齐步坤
马翔
潘文宾
葛华
陶骞
1)、主要科学技术内容:该项目主要的研究内容为新型电力电子器件用硅外延片产业化,主要包括:完成了VDMOSFET、SIT的N/N+高阻厚层以及IGBT的N/N+/P++反型多层硅外延结构的研究、高阻厚层硅外延均匀生长控制...
关键词:
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硅外延片
电力电子器件
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