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程宏亮

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司更多>>
相关领域：核科学技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇核科学技术

主题

  • 1篇电阻
  • 1篇扩展电阻
  • 1篇扩展电阻探针
  • 1篇V法
  • 1篇IC
  • 1篇MOS
  • 1篇波法

机构

  • 1篇杭州士兰集成...

作者

  • 1篇陈荣
  • 1篇杨富宝
  • 1篇金红杰
  • 1篇程宏亮

传媒

  • 1篇计量技术

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
IC生产线上离子注入剂量测试方法
2010年
在IC生产线上，对离子注入剂量的监控非常重要。目前，离子注入剂量的测试方法有很多种，它们在测试原理、仪器价格、测试灵敏度、样品制备和操作方便性等方面存在较大差异。本文重点介绍了MOSC—V法、扩展电阻探针（SRP）法和热波（TW）法的测试原理和测试过程，并比较分析了上述各种测试方法的优缺点，从而给实际工作中选择合适的测试方法监控离子注入剂量提供参考。
杨富宝金红杰陈荣程宏亮
关键词：MOS扩展电阻探针
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共1页<1>
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