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崔嵩
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十三研究所
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相关领域:
化学工程
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合作作者
黄岸兵
中国电子科技集团公司第四十三研...
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黄岸兵
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崔嵩
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化工新型材料
年份
1篇
1992
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氮化铝陶瓷的制造及应用
被引量:4
1992年
一、前言微电子学的发展趋势是器件多功能化、小型化。器件的复杂性将导致芯片尺寸增大和集成度提高,亦使芯片的功率耗散增加,片子的散热便成为关键问题之一。通过基片散热是一种有效途径。AlN陶瓷由于具有热导率高、热膨胀系数与硅接近、电性能优良、机械性能好、无毒等特性,被认为是最理想的基片材料,因此备受关注。
崔嵩
黄岸兵
贺相传
关键词:
氮化铝
陶瓷
粉末
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