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张斌
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一种裸芯片离心试验固定夹具
本发明公开了一种裸芯片离心试验固定夹具,包括一下底座和可扣合于下底座上的第一盖板和第二盖板;下底座上设置两级台阶,两级台阶的过渡处分别为第一过渡台和第二过渡台;第一过渡台和第二过渡台处分别设置有一个或一个以上的沟槽;第一...
凤瑞
张斌
苏亚慧
方岚
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量程可调式MEMS加速度计的参数标定方法
本发明涉及一种量程可调式MEMS加速度计的参数标定方法,用于对由敏感结构和包括两个补偿电容的ASIC电路组成的MEMS加速度计进行标度因数以及补偿电容的标定,其利用加速度计敏感结构的电容变化与输入加速度间的线性关系,分别...
王甫
张斌
高玉霞
康保鹏
凌波
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带温度补偿的MEMS加速度计
本发明涉及一种带温度补偿的MEMS加速度计,包括加速度传感器、温度传感器、温度补偿芯片,加速度传感器和温度传感器与温度补偿芯片的相连接。温度补偿芯片采用的温度补偿方法为:(1)在多个温度点下测量零偏和标度因子的一组输出值...
王晓臣
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张斌
王甫
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带温度补偿的MEMS加速度计
本发明涉及一种带温度补偿的MEMS加速度计,包括加速度传感器、温度传感器、温度补偿芯片,加速度传感器和温度传感器与温度补偿芯片的相连接。温度补偿芯片采用的温度补偿方法为:(1)在多个温度点下测量零偏和标度因子的一组输出值...
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一种裸芯片离心试验固定夹具
本发明公开了一种裸芯片离心试验固定夹具,包括一下底座和可扣合于下底座上的第一盖板和第二盖板;下底座上设置两级台阶,两级台阶的过渡处分别为第一过渡台和第二过渡台;第一过渡台和第二过渡台处分别设置有一个或一个以上的沟槽;第一...
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量程可调式MEMS加速度计的参数标定方法
本发明涉及一种量程可调式MEMS加速度计的参数标定方法,用于对由敏感结构和包括两个补偿电容的ASIC电路组成的MEMS加速度计进行标度因数以及补偿电容的标定,其利用加速度计敏感结构的电容变化与输入加速度间的线性关系,分别...
王甫
张斌
高玉霞
康保鹏
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一种裸芯片离心试验固定夹具
本实用新型公开了一种裸芯片离心试验固定夹具,包括一下底座和可扣合于下底座上的第一盖板和第二盖板;下底座上设置两级台阶,两级台阶的过渡处分别为第一过渡台和第二过渡台;第一过渡台和第二过渡台处分别设置有一个或一个以上的沟槽;...
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