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文献类型

  • 7篇中文专利

主题

  • 4篇加速度
  • 4篇加速度计
  • 4篇MEMS加速...
  • 3篇多芯片
  • 3篇芯片
  • 3篇离心试验
  • 3篇裸芯片
  • 3篇多轴向
  • 2篇底座
  • 2篇电容
  • 2篇凸台
  • 2篇温度补偿
  • 2篇温度补偿方法
  • 2篇系数矩阵
  • 2篇量程
  • 2篇矩阵
  • 2篇二阶曲线
  • 2篇标度
  • 2篇补偿方法
  • 1篇温度

机构

  • 7篇中国兵器工业...

作者

  • 7篇张斌
  • 4篇王甫
  • 4篇高玉霞
  • 3篇凤瑞
  • 3篇苏亚慧
  • 3篇方岚
  • 2篇鞠莉娜
  • 2篇凌波
  • 2篇王晓臣

年份

  • 1篇2017
  • 3篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2013
7 条 记 录,以下是 1-7
排序方式:
一种裸芯片离心试验固定夹具
本发明公开了一种裸芯片离心试验固定夹具,包括一下底座和可扣合于下底座上的第一盖板和第二盖板;下底座上设置两级台阶,两级台阶的过渡处分别为第一过渡台和第二过渡台;第一过渡台和第二过渡台处分别设置有一个或一个以上的沟槽;第一...
凤瑞张斌苏亚慧方岚
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量程可调式MEMS加速度计的参数标定方法
本发明涉及一种量程可调式MEMS加速度计的参数标定方法,用于对由敏感结构和包括两个补偿电容的ASIC电路组成的MEMS加速度计进行标度因数以及补偿电容的标定,其利用加速度计敏感结构的电容变化与输入加速度间的线性关系,分别...
王甫张斌高玉霞康保鹏凌波
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带温度补偿的MEMS加速度计
本发明涉及一种带温度补偿的MEMS加速度计,包括加速度传感器、温度传感器、温度补偿芯片,加速度传感器和温度传感器与温度补偿芯片的相连接。温度补偿芯片采用的温度补偿方法为:(1)在多个温度点下测量零偏和标度因子的一组输出值...
王晓臣鞠莉娜张斌王甫高玉霞
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带温度补偿的MEMS加速度计
本发明涉及一种带温度补偿的MEMS加速度计,包括加速度传感器、温度传感器、温度补偿芯片,加速度传感器和温度传感器与温度补偿芯片的相连接。温度补偿芯片采用的温度补偿方法为:(1)在多个温度点下测量零偏和标度因子的一组输出值...
王晓臣鞠莉娜张斌王甫高玉霞
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一种裸芯片离心试验固定夹具
本发明公开了一种裸芯片离心试验固定夹具,包括一下底座和可扣合于下底座上的第一盖板和第二盖板;下底座上设置两级台阶,两级台阶的过渡处分别为第一过渡台和第二过渡台;第一过渡台和第二过渡台处分别设置有一个或一个以上的沟槽;第一...
凤瑞张斌苏亚慧方岚
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量程可调式MEMS加速度计的参数标定方法
本发明涉及一种量程可调式MEMS加速度计的参数标定方法,用于对由敏感结构和包括两个补偿电容的ASIC电路组成的MEMS加速度计进行标度因数以及补偿电容的标定,其利用加速度计敏感结构的电容变化与输入加速度间的线性关系,分别...
王甫张斌高玉霞康保鹏凌波
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一种裸芯片离心试验固定夹具
本实用新型公开了一种裸芯片离心试验固定夹具,包括一下底座和可扣合于下底座上的第一盖板和第二盖板;下底座上设置两级台阶,两级台阶的过渡处分别为第一过渡台和第二过渡台;第一过渡台和第二过渡台处分别设置有一个或一个以上的沟槽;...
凤瑞张斌苏亚慧方岚
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共1页<1>
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