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赵杰
作品数:
31
被引量:2
H指数:1
供职机构:
西安微电子技术研究所
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发文基金:
中国人民解放军总装备部预研基金
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相关领域:
电子电信
电气工程
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合作作者
孙有民
西安微电子技术研究所
王清波
西安微电子技术研究所
薛智民
西安微电子技术研究所
杜欣荣
西安微电子技术研究所
陈晓宇
西安微电子技术研究所
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赵杰
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一种低导通电阻、高放大倍数NPN晶体管及其制备方法
本发明公开了一种低导通电阻、高放大倍数NPN晶体管及其制备方法,提供P型衬底,通过N型离子注入,在P型衬底上形成BNW区;在BNW区的底部形成一定厚度的DNW区;在BNW区上端面的边缘和内部分别形成一个闭环的场区隔离;在...
陈晓宇
赵杰
孙有民
薛智民
文献传递
一种超低电压输出的基准电路结构
本发明提供一种超低电压输出的基准电路结构,包括启动电路,所述启动电路输出端分别连接有PTAT电流产生电路和基准电压产生电路;所述PTAT电流产生电路的输出端连接基准电压产生电路;所述启动电路用于建立起始工作点,所述PTA...
张铎澜
廖雪
武琪
尤路
魏海龙
赵杰
一种焊盘下器件的双顶层金属CMOS工艺
本发明一种焊盘下器件的双顶层金属CMOS工艺,在硅衬底上形成有源区,之后在NMOS的有源区上形成P阱,在PMOS的有源区上形成N阱,然后形成场氧化层和进行阈值注入,形成栅氧层和多晶栅,接下来按照0.13~0.8μm硅栅C...
陈晓宇
曹磊
赵杰
孙有民
文献传递
一种带硅化物的场加固抗总剂量辐射CMOS器件及工艺
本发明一种带硅化物的场加固抗总剂量辐射CMOS器件及工艺,所述工艺先形成N阱和P阱,然后进行N场条注入,提高了最终形成的NMOS器件场区边缘处的开启阈值,接着多晶栅覆盖栅氧下方的硅衬底中形成器件沟道,N型和P型轻掺杂源漏...
陈晓宇
曹磊
宋坤
赵杰
孙有民
薛智民
文献传递
一种PIP电容的制备方法
本发明涉及CMOS集成电路制造工艺领域,公开了一种PIP电容的制备方法,首先,通过注入减少PIP电容下极板WSi<Sub>x</Sub>薄膜应力,然后,通过干法刻蚀减少PIP电容下极板表面寄生的SiO<Sub>2</Su...
陈晓宇
薛东风
赵杰
刘存生
陈宝忠
一种具有稳定击穿电压的稳压二极管的制备方法
本发明公开了一种具有稳定击穿电压的稳压二极管的制备方法,该制备方法是一种通过调整P型区杂质纵向分布改善稳压二极管击穿电压稳定性的工艺方法,通过高能离子注入工艺,降低稳压二极管P型区杂质浓度梯度:采用高能离子注入后低温退火...
王清波
薛东风
薛智民
孙有民
赵杰
文献传递
一种保护环掺杂抗辐射晶体管结构及其制备方法
本发明公开了一种保护环掺杂抗辐射晶体管结构及其制备方法,在通过传统双极工艺完成不同区域杂质选择性掺杂,形成双极晶体管结构之后,通过光刻胶掩蔽注入的方法在晶体管P型掺杂区的横向扩散区域表面进行一次P型杂质注入,在P型掺杂横...
赵杰
薛东风
薛智民
孙有民
王清波
卓青青
杜欣荣
一种基于集电区双扩散的高厄利电压横向PNP晶体管及其制备方法
本发明公开了一种基于集电区双扩散的高厄利电压横向PNP晶体管及其制备方法,该晶体管通过在P型集电区的侧壁和底部设置一层磷杂质基区,因磷杂质的扩散系数高于硼杂质的扩散系数,在后续集电区退火再扩散过程中N型杂质(磷杂质)和P...
孙有民
王清波
赵杰
卓青青
温富刚
王成熙
文献传递
一种抗总剂量辐射加固LDMOS器件结构及制备方法
本发明公开一种抗总剂量辐射加固LDMOS器件结构及制备方法,在衬底硅上间隔设置掺杂层,在掺杂层上端面的边部设置有部分嵌入的场氧化层,能有效提高场开启电压,使其高于工作电压,形成良好的隔离,同时能够减小多晶硅栅极与硅衬底之...
王成熙
杜欣荣
王清波
赵杰
卓青青
温富刚
文献传递
一种光吸收能力强的光敏二极管及制备方法
本发明提供一种光吸收能力强的光敏二极管及其制备方法,在晶圆表面的接触孔和受光区域中生长介质层,得到受光区域的增透膜结构;然后对介质层进行第二次接触孔光刻,得到欧姆接触孔;然后在晶圆表面溅射金属薄膜,进行第一次光刻、刻蚀工...
王成熙
王英民
赵杰
王勇
陈斌
孙有民
王清波
温富刚
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