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李蕾
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17
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
中国科学院战略性先导科技专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
谢红
中国科学院上海微系统与信息技术...
王浩敏
中国科学院上海微系统与信息技术...
谢晓明
中国科学院上海微系统与信息技术...
江绵恒
中国科学院上海微系统与信息技术...
贺立
中国科学院上海微系统与信息技术...
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h-BN上石墨烯纳米带的制备方法
本发明提供一种h‑BN上石墨烯纳米带的制备方法,包括:1)采用金属催化刻蚀方法于h‑BN上形成具有纳米带状沟槽结构的h‑BN沟槽模板;2)采用化学气相沉积方法于所述h‑BN沟槽模板中的生长石墨烯纳米带。本发明采用CVD方...
王浩敏
贺立
陈令修
谢红
王慧山
唐述杰
李蕾
张道礼
谢晓明
江绵恒
文献传递
一种石墨烯闪存存储器的制备方法
本发明提供一种石墨烯闪存存储器的制备方法,所述方法采用单层或者多层的连续石墨烯薄膜替代多晶硅栅或者氮氧化物存储电荷,能够在有限的物理空间内提高电荷存储容量,由于石墨烯厚度较薄,缩小器件纵向尺寸的同时,消除器件中电容耦合的...
王浩敏
谢红
王慧山
李蕾
卢光远
张学富
陈吉
吴天如
谢晓明
江绵恒
文献传递
一种用于磁场屏蔽的半导体器件及其制作方法
本发明提供一种用于磁场屏蔽的半导体器件及其制作方法,包括:衬底;位于衬底上表面的第一超导层;位于第一超导层表面的第一介电层;位于第一介电层表面、由二维半导体薄膜层形成的霍尔结构;位于霍尔结构表面的第二介电层;位于第二介电...
王浩敏
谢红
李蕾
王慧山
谢晓明
文献传递
一种基于石墨烯场效应管微区加热的原位生长材料的方法
本发明的基于石墨烯场效应管微区加热的原位材料生长的方法,包括步骤:首先,制备基于石墨烯的场效应管,所述石墨烯具有窄边微区结构,所述场效应管的背面设置有背栅;然后,在所述石墨烯两端的电极之间加电压源或电流源,通过调节背栅电...
王浩敏
谢红
李蕾
王慧山
贺立
陈令修
吴天如
邓联文
谢晓明
江绵恒
一种以石墨烯作为接触电极的器件结构及其制备方法
本发明提供一种以石墨烯作为接触电极的器件结构及其制备方法,涉及以石墨烯作为接触电极的器件结构技术领域,以干法转移的方法形成h-BN—石墨烯—超导/半导体材料—h-BN的新型器件结构,可以避免湿法转移工艺及图形化刻蚀、金属...
王浩敏
谢红
李蕾
王慧山
贺立
陈令修
张道礼
邓联文
谢晓明
江绵恒
具有一维接触电极的双层硒化铌异质结器件制备及电学特性研究
2016年
层状硒化铌晶体因其独特的电子结构和物理特性一直是科技界的研究热点,但少层硒化铌晶体薄片在空气中不稳定、器件性能退化严重等因素制约了对其深入研究。本文提出一种具有一维接触电极的双层硒化铌异质结的制备方法,在惰性环境中对硒化铌进行机械剥离、转移和封装,用标准微纳加工工艺制备了以石墨烯为一维接触电极、薄层六角氮化硼为封装材料的双层硒化铌异质结器件。结果表明:双层硒化铌器件的超导转变温度约为6.8K,电荷密度波相变温度保持在32K;超导临界电流密度为30mA/μm2,超导临界磁场为3T,性能与硒化铌晶体体材料接近;该器件在空气中电学性能非常稳定,保存数月未出现性能退化。
李蕾
邓联文
刘胜
杨鹏
王慧山
谢红
陈令修
贺立
李晓良
王浩敏
关键词:
石墨烯
电学特性
h-BN上石墨烯纳米带的制备方法
本发明提供一种h-BN上石墨烯纳米带的制备方法,包括:1)采用金属催化刻蚀方法于h-BN上形成具有纳米带状沟槽结构的h-BN沟槽模板;2)采用化学气相沉积方法于所述h-BN沟槽模板中的生长石墨烯纳米带。本发明采用CVD方...
王浩敏
贺立
陈令修
谢红
王慧山
唐述杰
李蕾
张道礼
谢晓明
江绵恒
文献传递
一种石墨烯闪存存储器的制备方法
本发明提供一种石墨烯闪存存储器的制备方法,所述方法采用单层或者多层的连续石墨烯薄膜替代多晶硅栅或者氮氧化物存储电荷,能够在有限的物理空间内提高电荷存储容量,由于石墨烯厚度较薄,缩小器件纵向尺寸的同时,消除器件中电容耦合的...
王浩敏
谢红
王慧山
李蕾
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张学富
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吴天如
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一种高灵敏度石墨烯磁场传感器及其制备方法
本发明提供一种高灵敏度石墨烯磁场传感器及其制备方法。涉及半导体技术领域,以干法转移的方法形成h‑BN—石墨烯—h‑BN的霍尔器件作为磁场传感器的核心结构,可以避免湿法转移工艺及图形化刻蚀、金属沉积工艺等对材料晶格造成的污...
王浩敏
谢红
王慧山
李蕾
谢晓明
江绵恒
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一种氮化硼衬底表面台阶刻蚀方法
本发明提供一种氮化硼衬底表面台阶刻蚀方法,包括如下步骤:S1:提供一六角氮化硼衬底;S2:在所述六角氮化硼衬底表面形成掩膜层,并在所述掩膜层中形成暴露出所述六角氮化硼衬底表面的预设刻蚀图形;S3:在所述掩膜层表面及所述预...
王浩敏
谢红
贺立
王慧山
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张道礼
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