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张雨东

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇透镜
  • 2篇省料
  • 2篇数值孔径
  • 2篇凸透镜
  • 2篇平行平板
  • 2篇像差
  • 2篇像差校正
  • 2篇空气隙
  • 2篇宽带
  • 1篇折反射式
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子技术
  • 1篇棱镜
  • 1篇激光
  • 1篇激光光刻
  • 1篇光刻
  • 1篇光谱
  • 1篇反射镜
  • 1篇分辨率

机构

  • 5篇中国科学院上...

作者

  • 5篇张雨东
  • 3篇王之江
  • 1篇邹海兴

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇1995
  • 1篇1993
  • 1篇1992
  • 1篇1991
  • 1篇1990
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
宽带准分子激光投影光刻研究
张雨东
关键词：激光光刻微电子技术
1∶1折反射式光学系统
1∶1折反射式光学系统，它主要用于精细图形的照相复制。包括一个由棱镜和透镜组成的折射镜组，一个球面反射镜，其特征是在折射镜组与反射镜之间还有一块校正板。它具有数值孔径大，分辨率高的特点。在波长短于365nm的光谱区，采用...
张雨东
宽带折反射式紫外光刻物镜的设计
1992年
本文设计了一种新系列的紫外或远紫外激光光刻物镜,它与国内外已有的紫外物镜相比,在365nm以下的光谱区,具有更宽的光谱工作带宽和较高的数值孔径.以宽带准分子激光或短弧汞氙灯做光源,无需另加色散补偿光学元件,可以进行同轴对准.
张雨东邹海兴王之江
关键词：数值孔径
有像差校正的1∶1折反射式光学系统
用于精细或超精细图形的照相复制。它包括球面反射镜，由两透镜组成的，弯月透镜组、平凸透镜，置于弯月透镜组两透镜之间的像差校正板，其校正板是空气隙或者是平行平板，在平凸透镜前有物像分离的三角棱镜组，三角棱镜组是由一块等边三角...
王之江张雨东
文献传递
有像差校正的1∶1折反射式光学系统
本发明是一种有像差较正的1∶1折反射式光学系统，主要用于精细或超精细图形的照相复制。它包括球面反射镜，由两透镜组成的，弯月透镜组、平凸透镜，置于弯月透镜组两透镜之间的像差校正板，其校正板是空气隙或者是平行平板，在平凸透镜...
王之江张雨东
文献传递
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