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陈学平

作品数：10 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第九研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 6篇电路
  • 6篇腔体
  • 6篇微波集成
  • 5篇环行器
  • 4篇微加工
  • 4篇薄膜电路
  • 2篇调试方法
  • 2篇元组
  • 2篇直流磁控
  • 2篇直流磁控溅射
  • 2篇失配
  • 2篇矢量
  • 2篇矢量网络分析...
  • 2篇同轴
  • 2篇腔体结构
  • 2篇网络分析仪
  • 2篇微波集成电路
  • 2篇微加工技术
  • 2篇膜层
  • 2篇晶圆

机构

  • 10篇中国电子科技...

作者

  • 10篇陈学平
  • 8篇倪经
  • 8篇周俊
  • 1篇王喜生
  • 1篇张为国

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2022
  • 6篇2021
  • 1篇2020
  • 1篇2013
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种MEMS硅基腔体环行器/隔离器电路膜层结构及制备方法
本发明公开了一种MEMS硅基腔体环行器/隔离器电路膜层结构，属于微波集成器件领域，所述电路膜层结构从上至下依次包括金膜层、铜膜层、氮化钽负载膜层、打底膜层、隔离膜层和高阻硅层，优选在所述金膜层与铜膜层之间，还设置有阻挡膜...
林亚宁赖金明程隽隽周俊倪经吴燕辉陈学平李林玲冯旭文黄河
一种提高硅晶圆上金属薄膜电路附着力的方法
本发明公开了一种提高硅晶圆上金属薄膜电路附着力的方法，属于微波集成电路微加工技术领域，所述方法为：采用常温直流磁控溅射在硅晶圆上进行金属薄膜生长，完成金属薄膜电路图形化后，将硅晶圆放入高温高压气氛炉中进行一定时长的保温保...
林亚宁赖金明周俊倪经陈学平李林玲吴燕辉徐德超王倩冯旭文
文献传递
硅-旋磁铁氧体嵌套结构及其制作方法
本发明公开了硅‑旋磁铁氧体嵌套结构，属于微波集成器件微加工领域，包括硅腔体和嵌入至所述硅腔体内的旋磁铁氧体，其特征在于：在所述旋磁铁氧体的侧面和下表面设置有金属薄膜粘附层，并在所述金属薄膜粘附层上设置有氮化硅薄膜层；本发...
林亚宁赖金明周俊倪经陈学平李林玲吴燕辉徐德超
文献传递
提高高频同轴环行器/隔离器易生产性的装配及调试方法
本发明公开了一种提高高频同轴环行器/隔离器易生产性的装配及调试方法，包括利用定位夹具将基片和中心导体按顺序构成一单元组，使每个单元组中基片和中心导体同轴，且每个单元组同轴；单元组粘接定型；准备腔体，腔体对应三个端口处设有...
赖金明刘涛敬雪玲周虔徐榆鸿陈学平
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一种提高硅晶圆上金属薄膜电路附着力的方法
本发明公开了一种提高硅晶圆上金属薄膜电路附着力的方法，属于微波集成电路微加工技术领域，所述方法为：采用常温直流磁控溅射在硅晶圆上进行金属薄膜生长，完成金属薄膜电路图形化后，将硅晶圆放入高温高压气氛炉中进行一定时长的保温保...
林亚宁赖金明周俊倪经陈学平李林玲吴燕辉徐德超王倩冯旭文
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提高高频同轴环行器/隔离器易生产性的装配及调试方法
本发明公开了一种提高高频同轴环行器/隔离器易生产性的装配及调试方法，包括利用定位夹具将基片和中心导体按顺序构成一单元组，使每个单元组中基片和中心导体同轴，且每个单元组同轴；单元组粘接定型；准备腔体，腔体对应三个端口处设有...
赖金明刘涛敬雪玲周虔徐榆鸿陈学平
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硅-旋磁铁氧体嵌套结构及其制作方法
本发明公开了硅‑旋磁铁氧体嵌套结构，属于微波集成器件微加工领域，包括硅腔体和嵌入至所述硅腔体内的旋磁铁氧体，其特征在于：在所述旋磁铁氧体的侧面和下表面设置有金属薄膜粘附层，并在所述金属薄膜粘附层上设置有氮化硅薄膜层；本发...
林亚宁赖金明周俊倪经陈学平李林玲吴燕辉徐德超
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一种MEMS硅基腔体环行器/隔离器电路膜层结构及制备方法
本发明公开了一种MEMS硅基腔体环行器/隔离器电路膜层结构，属于微波集成器件领域，所述电路膜层结构从上至下依次包括金膜层、铜膜层、氮化钽负载膜层、打底膜层、隔离膜层和高阻硅层，优选在所述金膜层与铜膜层之间，还设置有阻挡膜...
林亚宁赖金明程隽隽周俊倪经吴燕辉陈学平李林玲冯旭文黄河
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一种铁氧体基底薄膜电路的高效率光刻制作方法
一种铁氧体基底薄膜电路的高效率光刻制作方法，步骤如下：(1)根据预期制备的器件需要选择合适的铁氧体基底材料，并对基底进行金属化、清洗、干燥；(2)将清洗干净的镀有金属膜层的铁氧体基底多次反复涂胶烘焙，使得铁氧体基片上得到...
张为国倪经陈学平李杨兴周俊王喜生曹照亮
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一种铁氧体基片上金属薄膜电路电镀前清洗处理方法
本发明公开了一种铁氧体基片上金属薄膜电路电镀前清洗处理方法，属于微电子器件加工领域，其步骤包括：采用“二氧化碳雪”对铁氧体基片进行一次喷射清洗、使用酸溶液进行浸泡处理、采用“二氧化碳雪”对铁氧体基片进行二次喷射清洗和纯水...
林亚宁陈学平倪经周俊李光东李林玲徐德超邹延珂张羽黄河陈彦吴燕辉
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