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吴永前
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浙江大学
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张金春
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汪凯巍
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白剑
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在球面面形干涉检测中高精度消除调整误差的方法
本发明公开了一种在球面面形干涉检测中高精度消除调整误差的方法,该方法首先通过干涉仪获得包含调整误差的波面数据,并测量待测球面曲率半径和口径作为去除调整误差的辅助数据;待测球面半径的测量采用单频激光干涉法,口径的测量用游标...
张金春
汪凯巍
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在球面面形干涉检测中高精度消除调整误差的方法
本发明公开了一种在球面面形干涉检测中高精度消除调整误差的方法,该方法首先通过干涉仪获得包含调整误差的波面数据,并测量待测球面曲率半径和口径作为去除调整误差的辅助数据;待测球面半径的测量采用单频激光干涉法,口径的测量用游标...
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