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刘启明

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇压力传感器
  • 2篇力传感器
  • 2篇共晶
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻式
  • 1篇压阻式压力传...
  • 1篇应变式
  • 1篇锡合金
  • 1篇金属
  • 1篇键合
  • 1篇硅片
  • 1篇焊料
  • 1篇合金
  • 1篇银
  • 1篇MEMS压力...

机构

  • 2篇中国科学院电...

作者

  • 2篇杜利东
  • 2篇方震
  • 2篇赵湛
  • 2篇刘启明
  • 2篇陈继超
  • 2篇肖丽

年份

  • 2篇2013
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
银锡共晶真空键合金属应变式MEMS压力传感器及其制造方法
本发明属于传感器技术领域，具体公开了一种银锡共晶真空键合金属应变式MEMS压力传感器及其制造方法，所述传感器包括压力检测片(1)、焊片(2)和封接片(3)，所述压力检测片(1)、焊片(2)和封接片(3)由上至下依次叠置，...
杜利东赵湛方震肖丽陈继超刘启明
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压阻式压力传感器及其制造方法
本发明公开了一种压阻式压力传感器及其制造方法。该压阻式压力传感器，由上而下包括：压力传感SOI硅片，其下表面包括第一键合种子金属层；真空键合封接片，其上表面包括第二键合种子金属层，该第二键合种子金属层与压力传感SOI硅片...
杜利东赵湛方震肖丽陈继超刘启明
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