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张晓菲
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28
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电子科技大学
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合作作者
乔明
电子科技大学
张波
电子科技大学
代刚
电子科技大学
王裕如
电子科技大学
方冬
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一种横向高压功率器件的结终端结构
本发明属于半导体技术领域,具体涉及一种横向高压功率器件的结终端结构。本发明的结构,曲率结终端结构中N型漂移区2,P型埋层9和N型掺杂层10的内壁分别向中间延伸至与直接结终端结构中N型漂移区2,P型埋层9和N型掺杂层10的...
乔明
王裕如
张晓菲
方冬
代刚
张波
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过温保护电路
本发明公开了一种过温保护电路,包括恒定电流产生电路、输出控制电路、输出整形电路,恒定电流产生电路用于为过温保护电路提供稳定的电流偏置;输出控制电路用于将温度信号转换为电信号,并控制过温保护电路的输出;输出整形电路用于将输...
乔明
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一种硅基薄外延单RESURF电平位移结构
一种硅基薄外延单RESURF电平位移结构,属于半导体功率器件技术领域。包括基于浮动地的高端电路、终端、LDMOS、第一弯道区、第二弯道区;对于第一弯道区,增加漏极曲率半径以达到耐压需求;对于第二弯道区,增大第二弯道区漂移...
乔明
张晓菲
王裕如
代刚
张波
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一种横向高压功率器件的结终端结构
本发明属于半导体技术领域,具体的说涉及一种横向高压功率器件的结终端结构。本发明的结构,直线结终端结构和曲率结终端结构相连部分,在Y方向,P型埋层超出N型漂移区距离为5微米;同时P型埋层还超出N型掺杂层3微米。在实际工艺中...
乔明
王裕如
代刚
张晓菲
周锌
何逸涛
张波
文献传递
一种横向高压功率器件的结终端结构
本发明属于半导体技术领域,具体涉及一种横向高压功率器件的结终端结构。本发明的结构,曲率结终端结构中N型漂移区2,P型埋层9和N型掺杂层10的内壁分别向中间延伸至与直接结终端结构中N型漂移区2,P型埋层9和N型掺杂层10的...
乔明
代刚
张晓菲
王裕如
方冬
张波
文献传递
一种横向高压功率器件的结终端结构
本发明属于半导体技术领域,具体的说涉及一种横向高压功率器件的结终端结构。本发明的结构,直线结终端结构和曲率结终端结构相连部分,在Y方向,P型埋层超出N型漂移区距离为5微米;同时P型埋层还超出N型掺杂层3微米。在实际工艺中...
乔明
王裕如
代刚
张晓菲
周锌
何逸涛
张波
文献传递
一种横向高压功率器件的结终端结构
本发明属于半导体技术领域,具体的说涉及一种横向高压功率器件的结终端结构。本发明的结构,直线结终端结构和曲率结终端结构相连部分,在Y方向,P型埋层超出N型漂移区距离为5微米。在实际工艺中,N型漂移区2通过离子注入形成,在退...
乔明
王裕如
张晓菲
代刚
周锌
何逸涛
张波
一种横向高压功率器件的结终端结构
本发明属于半导体技术领域,具体涉及一种横向高压功率器件的结终端结构。本发明的结构,曲率结终端结构中N型漂移区2,P型埋层9和N型掺杂层10的内壁分别向中间延伸至与直接结终端结构中N型漂移区2,P型埋层9和N型掺杂层10的...
乔明
代刚
张晓菲
王裕如
方冬
张波
一种横向恒流二极管及其制造方法
本发明属于半导体功率器件技术领域,具体的说涉及一种横向恒流二极管及其制造方法。本发明所述的横向恒流二极管,其特征在于通过在普通恒流二极管的源极引入负反馈电阻,从而使恒流二极管的特性更加优良。本发明的有益效果为,引入的电阻...
乔明
张康
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何逸涛
于亮亮
张晓菲
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一种超结结构的制备方法
本发明提供了一种超结结构的制备方法,属于半导体工艺制造技术领域。包括以下步骤:1)在衬底上制备第一N型外延层;2)采用多次高能离子注入工艺,在第一N型外延层需要制作P型柱的区域注入P型杂质,形成第一注入区;3)在第一N型...
乔明
张晓菲
代刚
王裕如
张康
陈钢
李阳
张波
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