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李岩
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2
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供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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相关领域:
电气工程
电子电信
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合作作者
李傲然
中国电子科技集团公司第四十五研...
詹阳
中国电子科技集团公司第四十五研...
涂佃柳
中国电子科技集团公司第四十五研...
张敏杰
中国电子科技集团公司第四十五研...
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承载器残余真空分析
2014年
承载器作为化学机械平坦化设备的关键部件,其性能直接决定了晶圆抛光的质量。以实验的方式,分析了承载器吸附晶圆的残余真空效应,并提出了消除残余真空的方法。
李岩
詹阳
涂佃柳
关键词:
化学机械平坦化
承载器
基于三电平光伏并网逆变器控制系统的研究与实践
2015年
设计了一种基于三电平的光伏并网逆变器,实现空间矢量控制策略、最大功率点跟踪、防孤岛检测等功能。提出了基于同步PI内环和直流电压外环的双闭环控制系统。实验证明:该装置具有较好的实时性、实用性和可靠性。
李傲然
张敏杰
李岩
关键词:
三电平逆变器
并网
光伏产业
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