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文献类型

  • 4篇中文期刊文章

领域

  • 4篇电子电信

主题

  • 2篇封装
  • 1篇点集
  • 1篇电路
  • 1篇电气
  • 1篇电气设计
  • 1篇元件库
  • 1篇真空
  • 1篇视觉定位
  • 1篇搜索
  • 1篇搜索策略
  • 1篇特征点
  • 1篇特征点集
  • 1篇平坦化
  • 1篇评价函数
  • 1篇自动聚焦
  • 1篇自动聚焦系统
  • 1篇系统设计
  • 1篇街区
  • 1篇化学机械平坦...
  • 1篇灰度

机构

  • 4篇中国电子科技...

作者

  • 4篇涂佃柳
  • 2篇刘晓斌
  • 2篇柴斌
  • 2篇单福源
  • 1篇赵立华
  • 1篇田知玲
  • 1篇詹阳
  • 1篇李岩

传媒

  • 4篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 2篇2011
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
面向IC封装的视觉定位系统设计
2011年
以集成电路后道封装工序中的关键设备全自动砂轮划片机为例,详细阐述了面向IC封装的视觉识别定位系统的硬件结构和软件设计,在全自动砂轮划片机上开发了一套基于OpenCV视觉函数库的图像处理算法,控制划切工作台运动实现对IC工件划切街区的精确定位。在模板匹配方式上,该算法采用比较流行的边缘几何特征匹配方式,并在砂轮划片机的现场测试中取得了较为理想的效果。
刘晓斌涂佃柳柴斌单福源
关键词:集成电路视觉定位特征点集
承载器残余真空分析
2014年
承载器作为化学机械平坦化设备的关键部件,其性能直接决定了晶圆抛光的质量。以实验的方式,分析了承载器吸附晶圆的残余真空效应,并提出了消除残余真空的方法。
李岩詹阳涂佃柳
关键词:化学机械平坦化承载器
电气设计库管理办法与基本规范
2015年
介绍了电气设计库的管理办法和基本规范。在半导体专用设备电气设计时,需要把元器件等整理成公共库,便于企业统一使用。设计人员以规范和公共库为基准,进行库的设计和整理,并经过持续的标准化、规范化之后,库即可在PLM系统中和日常设计中使用。
赵立华田知玲涂佃柳
关键词:电气设计元件库
砂轮划片机显微镜自动聚焦系统的设计与分析
2011年
阐述了砂轮划片机显微镜自动聚焦系统的硬件构成和软件设计,在砂轮划片机上开发了一套自动对焦搜索算法,控制CCD、镜头沿光轴移动以实现焦距的自动调节。在软件设计上采用了图像处理手段实现镜头聚焦位置的自动搜索和评价函数对图象清晰度的评价,并在砂轮划片机的现场测试中证明了此种方法的可行性。
刘晓斌涂佃柳柴斌单福源
关键词:自动聚焦评价函数搜索策略灰度方差傅立叶变换
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