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曹中明

作品数:7 被引量:4H指数:1
供职机构:广东工业大学更多>>
发文基金:国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:电气工程一般工业技术更多>>

文献类型

  • 4篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇电气工程
  • 2篇一般工业技术

主题

  • 7篇溅射
  • 7篇磁控
  • 7篇磁控溅射
  • 4篇柔性衬底
  • 4篇溅射靶材
  • 4篇靶材
  • 4篇衬底
  • 2篇硫化
  • 2篇可见光
  • 2篇可见光区
  • 2篇溅射法
  • 2篇固态
  • 2篇磁控溅射法
  • 2篇ZNS
  • 1篇电池
  • 1篇预制
  • 1篇太阳能
  • 1篇太阳能电池
  • 1篇铜锌
  • 1篇硫化时间

机构

  • 7篇广东工业大学

作者

  • 7篇曹中明
  • 6篇杨元政
  • 6篇许佳雄
  • 4篇陈先朝
  • 4篇何玉定
  • 2篇谢致薇
  • 2篇邱莎莎
  • 2篇温楚雄
  • 2篇黄俊彬

传媒

  • 1篇材料工程
  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 3篇2016
  • 2篇2015
  • 2篇2014
7 条 记 录,以下是 1-7
排序方式:
一种柔性衬底ZnS薄膜的制备方法
本发明公开了一种柔性衬底ZnS薄膜的制备方法,它采用在柔性衬底材料上采用先磁控溅射沉积金属Zn薄膜,再进行硫化处理的方法制备ZnS薄膜,具体步骤如下:选用金属Zn靶作为溅射靶材;对柔性衬底材料进行清洗;利用磁控溅射方法,...
许佳雄杨元政谢致薇陈先朝何玉定曹中明辛辅炼魏坚烽黄俊彬温楚雄邱莎莎
文献传递
硫化时间对固态硫化铜锌锡硫薄膜性能的影响被引量:2
2016年
采用固态硫化法硫化铜锡锌(CZT)预制膜制备铜锌锡硫(Cu_2ZnSnS_4,CZTS)薄膜,研究硫化时间对CZTS薄膜性能的影响。利用X射线衍射仪(XRD)和紫外拉曼光谱仪(Raman)分析薄膜的物相结构,通过X射线能谱仪(EDS)分析薄膜的化学组分,采用扫描电镜(SEM)观察薄膜的表面形貌,利用UV-Vis研究薄膜的光学特性。结果表明:随着硫化时间延长,Cu含量增加,Zn含量明显减少。硫化40min以上制备的薄膜出现导致禁带宽度减小的杂相SnS,Sn2S3和Cu_2SnS_3。当硫化时间为20min时,样品为单相的CZTS薄膜,薄膜表面均匀平整,化学组分贫Cu富Sn,吸收系数达104cm-1,禁带宽度Eg约为1.56eV。
曹中明杨元政许佳雄谢致薇
关键词:磁控溅射硫化时间
一种柔性衬底ZnS薄膜的制备方法
本发明公开了一种柔性衬底ZnS薄膜的制备方法,它采用在柔性衬底材料上采用先磁控溅射沉积金属Zn薄膜,再进行硫化处理的方法制备ZnS薄膜,具体步骤如下:选用金属Zn靶作为溅射靶材;对柔性衬底材料进行清洗;利用磁控溅射方法,...
许佳雄杨元政谢致薇陈先朝何玉定曹中明辛辅炼魏坚烽黄俊彬温楚雄邱莎莎
文献传递
利用磁控溅射法在柔性衬底上制备铜锌锡硫薄膜的方法
本发明公开了一种利用磁控溅射法在柔性衬底上制备铜锌锡硫薄膜的方法,它采用在柔性衬底材料上先磁控溅射金属Cu-Zn-Sn前驱体,再进行硫化处理的方法制备铜锌锡硫薄膜;具体步骤如下:选用金属Cu、Zn和Sn靶作为溅射靶材;对...
许佳雄曹中明杨元政谢致薇陈先朝何玉定
文献传递
金属成分对固态硫化CZTS薄膜性能的影响被引量:1
2015年
采用磁控溅射法制备铜锌锡(CZT)金属预制膜,再利用固态硫化法制备了Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜。研究了CZT金属预制膜中Sn的原子数分数对CZTS薄膜的化学成分、结构组织和光学性能的影响规律。结果表明:实验制备的CZT金属预制膜硫化后均能得到主相为CZTS的薄膜。在适当的范围内增加CZT金属预制膜中Sn的原子数分数可提高CZTS薄膜的结晶度,有利于生长均匀致密的CZTS薄膜;Sn的原子数分数过高时,硫化后制得的CZTS薄膜存在杂相Sn2S3。当CZT预制膜中各成分的原子数分数比为yZn/ySn=0.24,yCu/yZn+Sn=0.33时,固态硫化后可获得表面均匀致密、具单相的CZTS薄膜,该薄膜中yZn/ySn=1.15,yCu/yZn+Sn=0.92,光吸收系数达104 cm-1,光学带隙为1.52 eV。
曹中明杨元政许佳雄谢致薇
关键词:磁控溅射金属含量
利用磁控溅射法在柔性衬底上制备铜锌锡硫薄膜的方法
本发明公开了一种利用磁控溅射法在柔性衬底上制备铜锌锡硫薄膜的方法,它采用在柔性衬底材料上先磁控溅射金属Cu-Zn-Sn前驱体,再进行硫化处理的方法制备铜锌锡硫薄膜;具体步骤如下:选用金属Cu、Zn和Sn靶作为溅射靶材;对...
许佳雄曹中明杨元政谢致薇陈先朝何玉定
文献传递
铜锌锡硫薄膜太阳能电池吸收层的制备与性能研究
铜锌锡硫(Cu2ZnSnS4,简称CZTS)薄膜吸收系数高,禁带宽度为1.5eV,处于单结太阳能电池的理想带隙值,成本低且不含有毒元素,是理想的薄膜太阳能电池吸收层材料。因此开展CZTS薄膜材料和CZTS薄膜太阳能电池的...
曹中明
关键词:太阳能电池磁控溅射
文献传递
共1页<1>
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