您的位置： 专家智库 > >

饶青

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇微加速度计
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计
  • 1篇硅微加速度计

机构

  • 1篇电子科技大学

作者

  • 1篇于奇
  • 1篇杨谟华
  • 1篇周伟
  • 1篇戴强
  • 1篇饶青

传媒

  • 1篇Journa...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
基于梳齿间距偏差的硅微加速度计冲击与阶跃信号响应模型被引量：3
2008年
源于概率统计理论,针对梳齿电容的微细加工偏差,给出了当各梳齿间距偏差在一定范围内独立且均匀分布时,单边电容和双边电容驱动的硅微加速度计冲击与阶跃信号响应物理模型.经过有限元仿真和Monte Carlo模拟验证,结果表明理论模型与仿真值之差小于10%.模型指出,当梳齿间距偏差由0变化到20%,加速度计在受到冲击与阶跃加速度信号作用时,其可靠工作范围将比无偏差理想情况下降10%~15%.该模型可望应用于实际有加工偏差的微加速度计可靠工作范围预先评估与设计.
戴强于奇饶青周伟杨谟华
关键词：微加速度计
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0