王小军
- 作品数：4 被引量：19H指数：2
- 供职机构：中南大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学动力工程及工程热物理机械工程更多>>
- 几类信息薄膜及其应用的基础研究
- 周继承晏建武李幼真王小军田莉严钦云何红波李义兵
- 国防及民用工业中需要大量高精度、高稳定性、耐恶劣环境的薄膜压力和温度传感器，低K介质材料作为新一代高性能集成电路互连材料，已成为当今微电子的研究热点。本课题组采用新工艺和新方法研制高性能纳米传感和低K介质信息薄膜。采用双...
- 关键词：
- 磁控共溅射Ni_3Al合金薄膜的微观结构及电阻特性被引量：10
- 2006年
- 研究了室温下采用直流磁控共溅射法在抛光玻璃和Si基底上沉积Ni3Al合金薄膜的制备工艺、微观结构和电阻特性。采用SEM、EDX、AFM、TEM等测试分析了不同基底、溅射功率、工作气压等因素对薄膜微观结构、成分比和电阻特性的影响。结果表明:采用大功率混合溅射可以得到多晶态Ni3Al纳米合金薄膜,且呈多层岛状生长。所得薄膜具有良好的导电性,与玻璃相比,在Si基底上的薄膜表面光滑平整,晶粒更小,电阻率略大。然而随着厚度的减小,薄膜的电阻率增加迅速,发生金属向绝缘体过渡的相变,而厚度较大时这种现象不明显,这表明Ni3Al薄膜相变与厚度及晶格中氧含量有关。
- 李义兵王小军周继承
- 关键词：磁控溅射微结构电阻特性
- 薄膜温度传感器敏感功能膜被引量：8
- 2005年
- 综述了目前国内外薄膜温度传感器敏感功能膜的制备方法、分类、结构、性质等,着重阐述了金属温度敏感膜的研究现状,并详细介绍了高温薄膜温度敏感器件的研究进展,最后论述了薄膜温度敏感器目前需要解决的一些问题。
- 王小军李义兵周继承
- 关键词：温度传感器功能膜金属温度敏感膜
- 合金薄膜温度传感器高性能敏感膜的研究
- 薄膜传感技术由于其便于小型化、集成化、多功能化、系统化及 网络化，是目前传感技术的研究前沿之一。Ni<,3>A1合金薄膜是一种性 能优越且具有广泛应用前景的温敏薄膜材料，具有宽测温区域、低成 本、高稳定性等优点。该...
- 王小军
- 关键词：温度传感器磁控共溅射微观结构合金薄膜
- 文献传递
