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李幼真

作品数：43 被引量：110H指数：7
供职机构：中南大学物理与电子学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金湖南省科技计划项目青年科技基金更多>>
相关领域：电子电信理学文化科学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 28篇期刊文章
  • 10篇专利
  • 2篇学位论文
  • 2篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 16篇电子电信
  • 7篇理学
  • 6篇文化科学
  • 4篇一般工业技术
  • 2篇电气工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇自然科学总论

主题

  • 10篇溅射
  • 10篇磁控
  • 9篇磁控溅射
  • 7篇阻挡层
  • 6篇介电
  • 6篇介电常数
  • 6篇教学
  • 5篇大学物理
  • 5篇电池
  • 5篇物理实验
  • 5篇扩散阻挡层
  • 5篇互连
  • 5篇TA
  • 5篇N
  • 4篇大学物理实验
  • 4篇低介电常数
  • 4篇电路
  • 4篇热稳定
  • 4篇热稳定性
  • 4篇纳米

机构

  • 43篇中南大学
  • 1篇上海理工大学

作者

  • 43篇李幼真
  • 15篇周继承
  • 8篇陈海波
  • 7篇刘正
  • 7篇肖剑荣
  • 7篇徐富新
  • 7篇刘雄飞
  • 6篇赵保星
  • 6篇陈勇民
  • 5篇邓宏贵
  • 5篇何彪
  • 3篇李莉
  • 3篇张云芳
  • 3篇荣林艳
  • 2篇李新梅
  • 2篇陈海波
  • 2篇黄迪辉
  • 1篇刘小良
  • 1篇马松山
  • 1篇简献忠

传媒

  • 6篇大学物理实验
  • 4篇材料导报
  • 3篇大学物理
  • 2篇中国有色金属...
  • 2篇微细加工技术
  • 2篇真空科学与技...
  • 1篇物理通报
  • 1篇太阳能学报
  • 1篇功能材料
  • 1篇中国科学（E...
  • 1篇真空
  • 1篇功能材料与器...
  • 1篇固体电子学研...
  • 1篇真空电子技术
  • 1篇电子元件与材...
  • 1篇TFC’07...

年份

  • 2篇2024
  • 5篇2023
  • 1篇2022
  • 1篇2021
  • 2篇2020
  • 1篇2019
  • 4篇2012
  • 6篇2011
  • 1篇2010
  • 6篇2008
  • 4篇2007
  • 2篇2006
  • 2篇2005
  • 2篇2004
  • 2篇2003
  • 2篇2002
共 43 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
纳米Ta-Al-N薄膜的制备及其扩散阻挡特性的研究被引量：2
2007年
采用直流反应磁控溅射方法在p型(100)Si衬底上制备了Ta-Al-N纳米薄膜与Cu/Ta-Al-N复合膜,并对薄膜样品进行了卤钨灯快速热退火(RTP)。用四探针电阻测试仪(FPP)、AFM、SEM-EDS、Alpha-step IQ台阶仪和XRD等分析测试方法对样品的形貌结构与特性进行了分析表征。实验结果表明,本实验条件下制得的Ta-Al-N纳米薄膜表面光滑;随着Al靶溅射功率的增加,Ta-Al-N薄膜中Al含量和方块电阻相应增大,均方根粗糙度降低,而沉积速率变化不大,且Ta-Al-N膜层对Cu扩散的阻挡能力增强。但在过高的温度下退火,导致Cu通过Ta-Al-N的晶界扩散到Ta-Al-N/Si界面并形成Cu3Si,从而引起阻挡层的失效。
周继承陈海波李幼真
关键词：反应磁控溅射
20世纪的物理学巨匠——尼尔斯·玻尔被引量：4
2020年
尼尔斯·玻尔(1885-1962)是20世纪著名的物理学家,年轻时就发表了影响深远的"三部曲".本文通过其重新诠释"弗兰克-赫兹"实验结果、创建哥本哈根研究所、与爱因斯坦论战、推动创立原子能机构等几个故事展示了这位物理学大师超群的智慧、高尚的人格、伟大的爱国精神以及为人类和平奉献的崇高精神.
陈波何彪李幼真徐富新
关键词：量子力学
一种基于多目标优化模型的异构网络垂直切换算法及系统
本发明涉及异构网络技术领域，公开了基于多目标优化模型的异构网络垂直切换算法及系统，以提高异构网络系统的资源利用率和保证用户的服务质量需求，本发明的算法包括根据相关参数计算异构网络中反映各基站在不同状态下性能特征的Gitt...
邓宏贵王书敏李幼真封雨鑫
文献传递
RIS辅助的MIMO系统的离散相移设计方法和装置
本申请涉及无线通信技术领域的一种RIS辅助的MIMO系统的离散相移设计方法和装置。所述方法包括：建立RIS辅助的MIMO通信系统，获取MIMO通信系统的目标函数；以MIMO通信系统频谱效率最大化为目标推导出离散相移矩阵设...
邓宏贵张文涓李幼真朱早星
a-C∶F∶H薄膜的化学键结构被引量：1
2005年
使用CF4和CH4为源气体,利用射频等离子体增强化学气相沉积法,制备了a-C∶F∶H薄膜样品。采用拉曼光谱仪、傅里叶变换红外光谱仪、X射线光电子能谱仪(XPS)对薄膜的结构进行了测试和分析。研究发现:该膜呈空间网状结构,膜内碳与氟、氢的结合主要以sp3形式存在,而sp2形式的含量相对较少;在薄膜内主要含有C—Fx(x=1,2,3)、C—C、C—H2、C—H3等以及不饱和C C化学键;同时,薄膜中C—C—F键的含量比C—C—F2键的含量要高。在不同功率下沉积的薄膜,其化学键结构明显不同。
肖剑荣徐慧李幼真刘雄飞马松山简献忠
关键词：等离子体增强化学气相沉积低介电常数化学键
几类信息薄膜及其应用的基础研究
周继承晏建武李幼真王小军田莉严钦云何红波李义兵
国防及民用工业中需要大量高精度、高稳定性、耐恶劣环境的薄膜压力和温度传感器，低K介质材料作为新一代高性能集成电路互连材料，已成为当今微电子的研究热点。本课题组采用新工艺和新方法研制高性能纳米传感和低K介质信息薄膜。采用双...
关键词：
多靶磁控共溅射纳米Ta-Al-N薄膜的阻挡性能研究
2008年
采用磁控反应共溅射方法制备了纳米Ta-Al-N薄膜,并原位制备了Cu/Ta-Al-N薄膜,对薄膜进行了热处理。用四探针测试仪、X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)以及台阶仪等研究了退火对薄膜结构及阻挡性能的影响。结果表明,Ta-Al-N薄膜具有优良的热稳定性,保持非晶态且能对Cu有效阻挡的温度可达800°C;同时发现在900°C退火5 min后,薄膜开始晶化,在Cu/Ta-Al-N/Si界面处生成了Cu3Si等相,表明此时Ta-Al-N薄膜阻挡层开始失效。
李幼真周继承陈海波刘正
关键词：热退火表面形貌
融入思政元素,教会做事做人--大学物理实验课程思政探索与实践被引量：7
2023年
将教学内容与思政教育有机融合,全方面提高德育水平,是新时期教育工作者的重要职责。大学物理实验课程量大面广,在培养学生动手能力,科学精神方面具有重要作用,相比理论教学,教学过程中师生有很多面对面交流的机会,为开展卓有成效的德育、思政教育提供了很好的机会。近年来,通过规范教学纪律、加强课程设计、深挖科学家背后故事等,融入思政元素,提高课堂吸引力和学生学习积极性,在潜移默化中引导学生树立正确的人生观和价值观,取得初步成效。
李幼真徐富新龙孟秋何彪郑小娟
关键词：大学物理实验
不同氮流量比制备纳米Ta-N薄膜及其性能被引量：2
2008年
超大规模集成电路Cu互连中的核心技术之一是制备性能优异的扩散阻挡层。本文采用直流磁控反应溅射在N2/Ar气氛中制备了不同组分比的Ta-N薄膜,并原位制备了Cu/Ta-N/基底复合结构,对部分样品在N2保护下进行了快速热处理(RTA),采用台阶仪、四探针测试仪、原子力显微镜(AFM)、扫描电镜、X射线衍射(XRD)对薄膜形貌结构进行了表征。结果表明,随着N2流量比的增加,薄膜沉积速率下降,表面趋于平滑,Ta-N薄膜热稳定性能及阻挡性能随之提高,而电阻率则上升。氮流量比为0.3制备的厚度为100nm的Ta-N薄膜经600℃/5m in RTA后,仍可保持对Cu的有效阻挡;在更高温度下退火,Cu将穿过阻挡层与Si发生反应,导致阻挡层失效。
李幼真周继承陈海波黄迪辉刘正
关键词：CU互连氮分压
大学物理实验的分阶段开放教学管理和实践被引量：5
2012年
根据目前大学物理实验开放式教学的现状,提出了当前物理实验教学的开放应结合各校实际,分阶段,分层次地进行,才能达到最佳教学效果。
李幼真徐富新
关键词：物理实验教学教学效果
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