沈修成
- 作品数：12 被引量：30H指数：3
- 供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市科委纳米专项基金上海市科学技术委员会资助项目更多>>
- 相关领域：机械工程电气工程自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 基于模压的中空微针批量制备方法
- 本发明公开了一种医疗器械技术的基于模压的中空微针批量制备方法，首先采用微细加工方法制备微针阵列的硬质模具，然后在生物相容的金属或聚合物薄板上制备微孔，微孔的间距与模具上微针阵列的间距相同，再通过模压将带孔的薄板压成突起的...
- 刘景全沈修成王亚军杨春生陈迪
- 文献传递
- 基于MEMS技术的异平面空心金属微针被引量：4
- 2009年
- MEMS微针的一个重要应用是透皮给药。文中提出了一种基于MEMS技术的异平面空心金属微针。该微针首先利用硅(100)面刻蚀技术在硅片上刻蚀出深度为330μm的倒四棱锥,然后采用电镀技术电镀出壁厚为50μm的空心金属倒四棱锥。从背面开出微流道并去除残余硅,就得到了倾斜角度为70.6°的异平面金属空心微针。最后采用ANSYS有限元仿真软件建立微针模型,验证了微针具有足够的强度。
- 沈修成刘景全王亚军郭忠元芮岳峰
- 关键词：MEMS微针电镀
- 聚合物Parylene C薄膜的反应离子刻蚀研究
- 2008年
- 首先简要介绍了聚合物Parylene,并以Parylene C薄膜为原料,进行反应离子刻蚀,着重研究了功率和工作气压对刻蚀速率的影响,并给出了优化的刻蚀工艺参数。结果表明,刻蚀速率随功率增加而增大,当功率为80 W时,刻蚀速率达到0.44μm/min,适当增大功率有利于各向异性刻蚀。刻蚀速率在一定范围内随气压增大而增大,工作压力为10.67 Pa时,刻蚀速率达到0.47μm/min;当气压超过10.67 Pa后,刻蚀速率基本保持不变。
- 王亚军刘景全沈修成杨春生郭中元芮岳峰
- 关键词：微流体系统反应离子刻蚀
- Parylene薄膜及其在MEMS中的应用被引量：7
- 2008年
- 介绍了聚合物Parylene,包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化。着重介绍了Parylene在微流体系统的应用,包括微阀、微泵和微通道;在可植入微系统中的应用,包括人工耳蜗和视网膜假体。近来的研究表明,基于Parylene的MEMS微器件广泛应用在各种MEMS微结构、微传感器和微驱动器上,Parylene在各种完全集成微系统应用中将具有更加诱人的前景。
- 王亚军刘景全杨春生沈修成郭忠元
- 关键词：聚对二甲苯微泵微通道人工耳蜗微机电系统
- 用于视觉假体的柔性生物微电极阵列的设计和制作被引量：3
- 2009年
- 提出了一种用于视网膜假体的基于Parylene的柔性微电极阵列的设计和制作。微电极阵列为5×5,通过光刻胶热熔回流技术形成的电极点为半球形凸起,底部直径为60μm,高度大约为24μm。整个电极具有很好的柔韧性,能够更好的适应视网膜表面轮廓,提高刺激效果。同时,电极具有很好的透明性,便于手术时电极的植入和手术后对生物组织的观察。
- 王亚军杨春生刘景全沈修成郭忠元
- 关键词：PARYLENE微电极阵列MEMS
- 基于MEMS的压电微能量采集器的电路研究与测试被引量：11
- 2008年
- 微能量采集技术是利用某种效应把周围环境中的某种形式的能量转换成电能,为嵌入式系统和无线传感网络中的MEMS器件供能。本文探讨了一种基于MEMS技术的压电型微能量采集器。微能量采集器工作于低频环境,当给其振动激励信号时,它能够把机械能转换为电能。但是能量采集器直接输出的是交流电压,一般不能直接为器件供能。所以,利用AC-DC电路把交流转换为直流,实现为MEMS器件供能。文中给出了微能量采集器的测试电路,同时给出了测试结果,论证了在低频环境下这种微能量采集器的可行性。
- 沈修成方华斌王亚军刘景全
- 关键词：MEMS压电效应悬臂梁
- 用于透皮给药的MEMS金属微针技术研究
- 传统给药方式是口服给药和静脉注射给药,它们是很方便的给药方式,可以满足大部分药物的需求。但是,这两种给药方式也有各自的缺点。口服给药由于要经过胃肠等消化道,经过新陈代谢作用,很多药物尤其是蛋白质类药物的药效降低;静脉注射...
- 沈修成
- 关键词：透皮给药MEMS微针
- 文献传递
- 用于透皮给药的异平面金属空心微针制作方法
- 本发明涉及一种医用器械技术领域的用于透皮给药的异平面金属空心微针制作方法。本发明首先在氧化硅基片上旋涂光刻胶，经过曝光显影后露出二氧化硅窗口，刻蚀二氧化硅；其次，以二氧化硅为掩膜刻蚀硅形成倒四棱锥图形；接着溅射金属导电层...
- 刘景全沈修成王亚军郭忠元
- 文献传递
- 基于硅与非硅复合方法的异平面空心微针制作被引量：3
- 2011年
- 为了解决制备空心微针工艺复杂且成本高的问题,本文提出了采用湿法刻蚀、光刻和电镀结合的方法制备低成本空心金属微针.首先采用湿法刻蚀硅,得到280μm深的倒四棱锥锥坑;然后在锥坑上甩200μm厚的负胶SU-8填充锥坑,并通过曝光显影负胶形成微针的形貌;最后在曝光显影后的负胶上电镀50μm厚的镍得到所需形状的空心金属微针.用此方法制备的空心微针高度为350μm、壁厚为50μm,其针尖形状为三棱锥和四棱锥.通过有限元仿真分析微针强度与微针结构尺寸的关系.用此方法加工出的微针具有锥形尖,改善了刺入皮肤的效果.
- 闫肖肖沈修成刘景全杨春生李以贵
- 关键词：SU-8经皮给药
- 用于透皮给药的异平面金属空心微针制作方法
- 本发明涉及一种医用器械技术领域的用于透皮给药的异平面金属空心微针制作方法。本发明首先在氧化硅基片上旋涂光刻胶，经过曝光显影后露出二氧化硅窗口，刻蚀二氧化硅；其次，以二氧化硅为掩膜刻蚀硅形成倒四棱锥图形；接着溅射金属导电层...
- 刘景全沈修成王亚军郭忠元
- 文献传递
