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殷功杰
作品数:
15
被引量:78
H指数:6
供职机构:
中国科学院西安光学精密机械研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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合作作者
范正修
中国科学院高能物理研究所
王忠义
西北工业大学材料学院凝固技术国...
高勃
西北工业大学材料学院凝固技术国...
刘波
中国科学院西安光学精密机械研究...
邵建达
中国科学院上海光学精密机械研究...
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1995
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1994
1篇
1993
共
15
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小角衍射法精确测定Mo/Si软X射线多层膜的结构
被引量:10
1993年
通过对周期性Mo/Si多层膜Cu靶K_(?)线小角衍射曲线的分析,并进一步采用对局部曲线进行分步数值拟合的方法,确定了多层膜的结构参数及界面质量。估算了多层膜样品在λ=20nm附近的正入射反射率接近10%。
殷功杰
范正修
邵建达
关键词:
多层膜
牙冠外形三维光学测量系统标定实验(二)——位相-高度转换实验
被引量:5
1999年
目的:验证牙冠外形三维光学测量系统标定实验(一)的结果。方法:用牙冠外形三维光学测量系统测量标准圆柱状石膏模型,将测量得到的位相值转成该石膏模型表面高度值。结果:得到标准圆柱状石膏模型表面实际高度图,比较准确地反映出了被测量圆柱标准试件的高度。结论:所采取标定实验简单实用。
高勃
王忠义
施长溪
殷功杰
刘波
关键词:
位相全息图
光栅变形条纹直接分析法用于牙冠形状的三维测量——正交验波法
被引量:20
1998年
目的:测量具有轴面代表性的中切牙唇面和具有咬合面代表性的磨牙牙合面,为牙冠三维面形重建及CAD/CAM的实现奠定基础。方法:采用变形光栅条纹直接分析法,研制了一台小型的牙冠三维表面轮廓测量仪,编制了支持软件,建立了一套自动“光学印模”系统。结果:获得了1唇面和|66|牙合面的三维表面轮廓条纹图。结论:该方法采集图像速度快,测量装置小巧可靠,有置入口腔内实测的潜力。
高勃
王忠义
张少锋
施长溪
刘晓宁
殷功杰
刘波
朱传贵
关键词:
光栅投影
牙冠
软X射线衍射色散元件
1994年
软X射线衍射色散元件袁利祥,范正修,殷功杰(中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800)崔明启(中国科学院高能物理研究所,北京100039)沈孝良(复旦大学分析测试中心,上海200433)纳米量级的多层膜沉积技术和微电子制作技术的结合已使软x...
袁利祥
范正修
殷功杰
崔明启
沈孝良
关键词:
软X射线
衍射
簿膜结构分析中的低角X射线衍射方法
被引量:6
1994年
利用带折射修正的布喇格衍射定律和薄膜光学理论分析了低角X射线衍射谱中出现的一系列现象,导出了多层膜周期厚度和周期中不同材料间的配比率的计算公式,对多层膜的低角X射线衍射谱中主峰间的次峰现象作出了解释,并对低角X射线衍射测量单层膜厚度进行分析,给出了精确的测厚公式。
邵建达
范正修
殷功杰
袁利祥
关键词:
X射线衍射
衍射透镜衍射效率及光学传递函数
被引量:2
1997年
分析了衍射透镜的衍射效率及其对光学传递函数的影响,得出了总的光学传递函数和各衍射级次光学传递函数之间的加权和关系公式。最后进行了实例计算和讨论。
殷功杰
薛呜球
关键词:
衍射透镜
衍射效率
光学传递函数
光学系统
W/C超薄多层膜的制备及其结构与光学特性分析
被引量:6
1994年
利用平面磁控溅射技术,制备了W/C超薄多层膜样品。低角X射线衍射测试、透射电子显微镜显微剖面分析给出了该样品的结构参数,由这些结构参数模拟给出的光学特性与实测的1.47nm的绝对反射率角谱有较一致的表现。
邵建达
范正修
殷功杰
易葵
袁利祥
关键词:
磁控溅射
光学特性
应用微分电磁理论研究软X光衍射光栅
被引量:8
1994年
微分法是软X光波段唯一精确计算衍射光栅效率的电磁理论。应用这种理论成功地设计出带有位相光栅的软互光激光反射输出镜,计算出可能的实验误差。对微分理论的数值结果和精度进行了分析和讨论。
袁利祥
范正修
殷功杰
小尺寸物体三维面形高精度测量
被引量:6
1997年
采用变形光栅条纹囹样直接分析的方法对小尺寸物体面形实现高精度测量.研制了一台小型的三维表面轮廓测试仪,测量范围(30×30)mm2,精度20μm,初步用于人类牙齿表面三维测量.最后提出了存在的问题和改进方向.
殷功杰
朱传贵
刘波
薛鸣球
高勃
关键词:
光栅投影
轮廓仪
面形测量
物体表面轮廓三维测量理论及实验研究
殷功杰
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