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殷功杰

作品数：15 被引量：79H指数：6
供职机构：中国科学院西安光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信机械工程医药卫生理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 14篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 6篇电子电信
  • 4篇机械工程
  • 3篇医药卫生
  • 2篇理学
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 5篇衍射
  • 5篇光栅
  • 3篇光学
  • 3篇光栅投影
  • 2篇牙冠
  • 2篇衍射透镜
  • 2篇衍射效率
  • 2篇软X射线
  • 2篇透镜
  • 1篇电磁
  • 1篇多层膜
  • 1篇牙冠表面
  • 1篇亚微米
  • 1篇衍射光栅
  • 1篇软X射线多层...
  • 1篇射线衍射
  • 1篇条纹
  • 1篇条纹分析
  • 1篇图像
  • 1篇图像处理

机构

  • 11篇中国科学院
  • 5篇中国科学院上...
  • 4篇第四军医大学
  • 3篇西北工业大学
  • 1篇复旦大学
  • 1篇中国人民解放...

作者

  • 15篇殷功杰
  • 6篇范正修
  • 4篇高勃
  • 4篇刘波
  • 4篇邵建达
  • 4篇王忠义
  • 3篇施长溪
  • 3篇薛鸣球
  • 3篇朱传贵
  • 2篇崔明启
  • 2篇易葵
  • 2篇沈孝良
  • 2篇刘波
  • 1篇王建
  • 1篇胡敏
  • 1篇刘丽冰
  • 1篇刘波
  • 1篇张少锋
  • 1篇薛呜球
  • 1篇缪建伟

传媒

  • 3篇物理学报
  • 3篇中国激光
  • 3篇实用口腔医学...
  • 2篇光子学报
  • 2篇激光技术
  • 1篇量子电子学

年份

  • 1篇2000
  • 2篇1999
  • 2篇1998
  • 4篇1997
  • 1篇1995
  • 4篇1994
  • 1篇1993
共 15 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
小角衍射法精确测定Mo/Si软X射线多层膜的结构被引量：10
1993年
通过对周期性Mo/Si多层膜Cu靶K_(?)线小角衍射曲线的分析,并进一步采用对局部曲线进行分步数值拟合的方法,确定了多层膜的结构参数及界面质量。估算了多层膜样品在λ=20nm附近的正入射反射率接近10％。
殷功杰范正修邵建达
关键词：多层膜
牙冠外形三维光学测量系统标定实验(二)——位相-高度转换实验被引量：5
1999年
目的：验证牙冠外形三维光学测量系统标定实验（一）的结果。方法：用牙冠外形三维光学测量系统测量标准圆柱状石膏模型，将测量得到的位相值转成该石膏模型表面高度值。结果：得到标准圆柱状石膏模型表面实际高度图，比较准确地反映出了被测量圆柱标准试件的高度。结论：所采取标定实验简单实用。
高勃王忠义施长溪殷功杰刘波
关键词：位相全息图
光栅变形条纹直接分析法用于牙冠形状的三维测量——正交验波法被引量：21
1998年
目的：测量具有轴面代表性的中切牙唇面和具有咬合面代表性的磨牙牙合面，为牙冠三维面形重建及ＣＡＤ／ＣＡＭ的实现奠定基础。方法：采用变形光栅条纹直接分析法，研制了一台小型的牙冠三维表面轮廓测量仪，编制了支持软件，建立了一套自动“光学印模”系统。结果：获得了１唇面和｜６６｜牙合面的三维表面轮廓条纹图。结论：该方法采集图像速度快，测量装置小巧可靠，有置入口腔内实测的潜力。
高勃王忠义张少锋施长溪刘晓宁殷功杰刘波朱传贵
关键词：光栅投影牙冠
软X射线衍射色散元件
1994年
软Ｘ射线衍射色散元件袁利祥，范正修，殷功杰（中国科学院上海光学精密机械研究所，上海２０１８００）崔明启（中国科学院高能物理研究所，北京１０００３９）沈孝良（复旦大学分析测试中心，上海２００４３３）纳米量级的多层膜沉积技术和微电子制作技术的结合已使软ｘ...
袁利祥范正修殷功杰崔明启沈孝良
关键词：软X射线衍射
簿膜结构分析中的低角X射线衍射方法被引量：6
1994年
利用带折射修正的布喇格衍射定律和薄膜光学理论分析了低角Ｘ射线衍射谱中出现的一系列现象，导出了多层膜周期厚度和周期中不同材料间的配比率的计算公式，对多层膜的低角Ｘ射线衍射谱中主峰间的次峰现象作出了解释，并对低角Ｘ射线衍射测量单层膜厚度进行分析，给出了精确的测厚公式。
邵建达范正修殷功杰袁利祥
关键词：X射线衍射
衍射透镜衍射效率及光学传递函数被引量：2
1997年
分析了衍射透镜的衍射效率及其对光学传递函数的影响，得出了总的光学传递函数和各衍射级次光学传递函数之间的加权和关系公式。最后进行了实例计算和讨论。
殷功杰薛呜球
关键词：衍射透镜衍射效率光学传递函数光学系统
W／C超薄多层膜的制备及其结构与光学特性分析被引量：6
1994年
利用平面磁控溅射技术，制备了Ｗ／Ｃ超薄多层膜样品。低角Ｘ射线衍射测试、透射电子显微镜显微剖面分析给出了该样品的结构参数，由这些结构参数模拟给出的光学特性与实测的１．４７ｎｍ的绝对反射率角谱有较一致的表现。
邵建达范正修殷功杰易葵袁利祥
关键词：磁控溅射光学特性
应用微分电磁理论研究软X光衍射光栅被引量：8
1994年
微分法是软Ｘ光波段唯一精确计算衍射光栅效率的电磁理论。应用这种理论成功地设计出带有位相光栅的软互光激光反射输出镜，计算出可能的实验误差。对微分理论的数值结果和精度进行了分析和讨论。
袁利祥范正修殷功杰
小尺寸物体三维面形高精度测量被引量：6
1997年
采用变形光栅条纹囹样直接分析的方法对小尺寸物体面形实现高精度测量．研制了一台小型的三维表面轮廓测试仪，测量范围（30×30）mm2，精度20μm，初步用于人类牙齿表面三维测量．最后提出了存在的问题和改进方向．
殷功杰朱传贵刘波薛鸣球高勃
关键词：光栅投影轮廓仪面形测量
物体表面轮廓三维测量理论及实验研究
殷功杰
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