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张耀锋

作品数:13 被引量:23H指数:4
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:一般工业技术电子电信理学核科学技术更多>>

文献类型

  • 7篇期刊文章
  • 4篇会议论文
  • 1篇学位论文
  • 1篇专利

领域

  • 6篇一般工业技术
  • 4篇电子电信
  • 3篇核科学技术
  • 3篇理学
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 6篇镀TI
  • 6篇TIN膜
  • 5篇不锈
  • 5篇不锈钢
  • 4篇真空管道
  • 4篇真空室
  • 4篇溅射
  • 4篇表面处理
  • 3篇加速器
  • 3篇钢管道
  • 3篇不锈钢管道
  • 3篇出气率
  • 3篇N
  • 2篇真空材料
  • 2篇自体
  • 2篇辉光
  • 2篇辉光放电
  • 2篇TIN薄膜
  • 2篇MATERI...
  • 1篇电子储存环

机构

  • 13篇中国科学技术...

作者

  • 13篇张耀锋
  • 12篇王建平
  • 12篇尉伟
  • 12篇王勇
  • 12篇范乐
  • 6篇刘祖平
  • 4篇管长应
  • 3篇耿会平
  • 3篇蒋道满
  • 2篇朱存宝
  • 2篇赵飞云

传媒

  • 2篇Chines...
  • 1篇中国科学技术...
  • 1篇核技术
  • 1篇强激光与粒子...
  • 1篇真空
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 3篇2008
  • 6篇2007
  • 3篇2006
  • 1篇2005
13 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
真空管道自体溅射镀TiN膜研究
本文详细介绍了长真空管道内表面直流溅射镀TiN膜技术和成膜系统配置。首先提出真空管道自体真空镀膜新概念,采用特殊的阴极靶结构设计成功的解决了长管道内表面直流溅射镀膜的难题。在真空管道内壁获得了均匀的、高品质的TiN膜层,...
王勇尉伟张耀锋王建平范乐赵飞云
关键词:TIN膜辉光放电
用于管道内壁面的溅射镀膜装置
本实用新型涉及真空溅射镀膜技术,具体涉及一种用于管道内壁进行镀膜的装置。它包括现有溅射镀膜中使用的与涡轮分子泵排气机组及反应气体流量控制系统连通的进气辅助真空室、与真空度测量控制系统及膜厚测量控制系统连通的辅助真空室、高...
王勇尉伟张耀锋范乐王建平
不锈钢材料及TiN镀膜处理后PSD测试实验研究
PSD性能是评价电子储存环真空室材料及材料表面处理优劣的一个重要指标。对一约1.5m长不锈钢管道真空室进行了镀TiN薄膜处理,并在合肥光源机器研究用光束线(MSB)的PSD实验站上对该真空室在镀TiN薄膜处理前后分别进行...
张耀锋王勇尉伟王建平范乐管长应刘祖平
关键词:不锈钢表面处理电子储存环真空室
真空室材料二次电子产额特性研究
设计了针对加速器真空室材料样品的二次电子产额测试装置。对测试装置的设计及测试过程进行了详细介绍,并给出了常见真空室材料的二次电子产额测试结果以及不锈钢材料在经过镀TiN薄膜处理前后的测试对比结果,分析了影响二次电子产额的...
张耀锋王勇尉伟王建平范乐管长应刘祖平
关键词:电子云真空室镀膜加速器
不锈钢管道溅射镀TiN薄膜实验研究被引量:4
2007年
在不锈钢管道溅射镀膜装置上,通过对不锈钢管道真空室进行溅射镀TiN膜的反复多次实验及对镀膜实验结果的分析,得到了一整套适用于加速器管道真空室内壁溅射镀TiN膜的表面处理参数.实验结果表明,在压强为80~90Pa、基体温度为160~180℃的镀膜参数下,不锈钢管道内壁能获得符合加速器物理要求的TiN薄膜.
王勇张耀锋尉伟王建平范乐蒋道满朱存宝刘祖平
关键词:TIN膜表面处理
加速器不锈钢管道真空室镀TiN薄膜系统的研究及实验
获得性能优越的束流是加速器发展的重要目标。作为束流及其周围真空环境的承载体,加速器真空室材料性能与束流性能密切相关。因此,改善和提高加速器真空室材料性能,对于保障加速器的正常运行和促进加速器的进一步发展具有重要意义。对加...
张耀锋
关键词:TIN薄膜出气率
Photon Stimulated Desorption Studies on Stainless Steel Material with and without TiN Film Coating
2008年
PSD yield is a key criterion to evaluate the vacuum chamber material and its surface pretreatment in an electron storage ring.In this paper,a stainless steel vacuum chamber of 1500 mm in diameter has been tested before and after TiN film coating on PSD experiment station of Machine Study Beamline of NSRL.Test results show that TiN film coating is an effective method to reduce photon stimulated desorption for the stainless steel material.
张耀锋王勇尉伟王建平范乐管长应刘祖平
不锈钢管道内壁镀TiN薄膜技术及其真空性能的研究被引量:6
2006年
介绍了对不锈钢管道大面积内壁用直流溅射方法镀TiN薄膜的技术及工艺,并分析了薄膜的相关参数,测试了镀膜管道的真空性能。结果表明,该方法能够快速、高效地在管道内壁镀上高质量的TiN薄膜,且镀膜后真空室表面的放气率明显低于原不锈钢材料的放气率。
张耀锋王勇尉伟王建平范乐蒋道满
关键词:TIN薄膜放气率
Secondary Electron Yield Studies on Vacuum Materials被引量:7
2008年
A secondary electron yield test device for vacuum material study is set up,and its detailed design described in this paper.The test results for a few common vacuum materials with and without TiN film coating are presented,and the influential factors on secondary electron yield are analyzed.All the work will be helpful to the surface pretreatment of vacuum materials.
张耀锋王勇尉伟王建平范乐管长应刘祖平
真空管道TiN膜热出气率实验研究被引量:4
2007年
简要叙述了小孔流量法测量材料出气率实验的原理和实验装置,给出了不锈钢溅射镀TiN膜在不同情况下的热出气率,并对影响不锈钢溅射镀TiN膜热出气率情况的各种因素进行了分析,为使用溅射镀TiN膜表面处理的储存环真空室的设计提供了依据。
王勇张耀锋尉伟范乐王建平耿会平
关键词:TIN膜真空材料表面处理
共2页<12>
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