吴丽君
- 作品数：8 被引量：84H指数：4
- 供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信金属学及工艺电气工程更多>>
- 光记录介质反射膜用铝合金薄膜及其溅射靶材被引量：2
- 1997年
- 扼要介绍了光记录介质反射膜的发展。指出了纯铝及早期的铝合金光记录介质反射膜及其靶材存在的问题。最后介绍了几类新型铝合金反射膜及其靶材。
- 吴丽君韩雪夏慧陆彪
- 关键词：光记录介质铝合金溅射靶材
- Al-Fe合金薄膜的电阻率与显微结构
- 为了防止信号延迟,要求TFT-LCD布线膜具有低电阻率的特性十分重要.本文采用磁控溅射法制备了不同成分的Al-Fe合金薄膜,用光刻等方法将薄膜样品加工成自行设计的图形,然后用四引线法精确测量了经不同温度退火的Al-Fe合...
- 吴丽君夏慧袁冠森
- 关键词：电阻率显微结构
- 文献传递
- 纯铝靶中分别添加Fe、Ti、Ta对溅射薄膜电阻率和抗小丘生长性能的影响
- 随着薄膜晶体管型液晶显示器(TFT-LCD)向大型化、高清晰化发民,对铝合金电极布线膜的主要性能要求是低电阻率和良好的抗小丘生长性能.如何降低高纯铝合金薄膜的电阻率并控制加热时的小丘生长是工业应用薄膜沉积的重要课题.为揭...
- 吴丽君
- 关键词：TFT-LCD电阻率
- 文献传递
- 发展中的溅射靶材被引量：34
- 2001年
- 作为制备和生产功能薄膜的方法之一 ,溅射法广泛应用于许多领域。它是目前制备金属薄膜最常用的工艺。作为高技术用的靶材是一种全新的概念。随着高技术用新材料突飞猛进的发展 ,世界靶材的市场销售规模日益扩大。本文重点介绍了靶材的发展概况、应用分类、制备工艺。
- 吴丽君
- 关键词：溅射靶材溅射法半导体记录介质显示器件
- 透明导电膜及靶材被引量：38
- 1998年
- 透明导电膜在电气及光学领域的应用日益广泛。近年来以掺杂Ｓｎ的Ｉｎ２Ｏ３（简称ＩＴＯ）开发和应用受到重视。用ＩＳＯ靶通过溅射法制备ＩＴＯ透明导电膜。由金属铟制取氧化铟粉末，后与氧化锡混合、压制烧结制出相对密度达９５％的ＩＴＯ靶材。
- 韩雪夏慧吴丽君
- 关键词：透明导电膜ITOLCD靶材
- 集成电路电极布线用铝合金薄膜及其溅射靶材被引量：9
- 2000年
- 近年来 ,铝合金薄膜广泛用作半导体集成电路的电极布线材料。作为制备溅射薄膜材料的铝合金靶材也获得了相应的应用。本文介绍了集成电路电极布线用铝合金薄膜及其溅射靶材的种类和性能 ,铝合金靶材的制备工艺以及铝合金靶材的发展趋势。
- 吴丽君夏慧陆彪
- 关键词：溅射靶材集成电路
- 薄膜晶体管型液晶显示器(TFT-LCD)配线膜用Al-Ti合金靶材研究
- 该文着重研究了TFT-LCD配线膜用Al-Ti合金靶的成份选定及其制备工艺和性能.根据TFT-LCD配线膜的性能要求,该文将钛含量设计在1.0~5.0wt%范围内,选取了四种成份的Al-Ti合金进行试验.试验采用真空熔炼...
- 吴丽君
- 关键词：液晶显示器
- 铝合金功能薄膜与溅射靶材被引量：8
- 2000年
- 近年来 ,铝合金广泛用于生产多种功能薄膜。作为制备高性能溅射薄膜用的铝合金靶材也得到了相应的应用。本文重点介绍应用于不同领域的几种铝合金功能薄膜 ,简述了铝合金薄膜与溅射靶材的制备工艺、铝合金靶材的显微结构及其对溅射薄膜性能的影响 。
- 吴丽君
- 关键词：溅射靶材
