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夏慧

作品数：1 被引量：9H指数：1
供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电极
  • 1篇电路
  • 1篇集成电路
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射靶材
  • 1篇靶材
  • 1篇布线

机构

  • 1篇北京有色金属...

作者

  • 1篇陆彪
  • 1篇夏慧
  • 1篇吴丽君

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2000
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
集成电路电极布线用铝合金薄膜及其溅射靶材被引量：9
2000年
近年来 ,铝合金薄膜广泛用作半导体集成电路的电极布线材料。作为制备溅射薄膜材料的铝合金靶材也获得了相应的应用。本文介绍了集成电路电极布线用铝合金薄膜及其溅射靶材的种类和性能 ,铝合金靶材的制备工艺以及铝合金靶材的发展趋势。
吴丽君夏慧陆彪
关键词：溅射靶材集成电路
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