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夏慧
作品数:
1
被引量:9
H指数:1
供职机构:
北京有色金属研究总院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
吴丽君
北京有色金属研究总院
陆彪
北京有色金属研究总院
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2000
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集成电路电极布线用铝合金薄膜及其溅射靶材
被引量:9
2000年
近年来 ,铝合金薄膜广泛用作半导体集成电路的电极布线材料。作为制备溅射薄膜材料的铝合金靶材也获得了相应的应用。本文介绍了集成电路电极布线用铝合金薄膜及其溅射靶材的种类和性能 ,铝合金靶材的制备工艺以及铝合金靶材的发展趋势。
吴丽君
夏慧
陆彪
关键词:
溅射靶材
集成电路
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