刘明哲
- 作品数：3 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国核工业集团公司核工业西南物理研究院更多>>
- 相关领域：核科学技术金属学及工艺更多>>
- 三束同步混合注入装置的研制、调试与初步应用
- 1992年
- 本文扼要地介绍了三束同步混合注入装置,给出离子束源、原子束源和电子束源的设计和调试结果,还给出三束动态混合调试结果及初步开展的动态混合离子注入工艺开发与应用情况。三束同步处理和电子束的活化作用是该装置的主要特点。
- 刘明哲钟溥邢大中卢大伦高玉马腾才张国炳龙振湖史维东宫泽祥
- 关键词：离子源离子注入
- KLY-1低能宽束离子源的研制
- 1990年
- 本文简介了KLY-1低能宽束离子源的结构,给出了物理设计的主要公式和调试实验的结果。对于氩离子束,在离子能量为4keV,距引出电极24cm处的5cm直径的靶上,测得最大氩离子流为45mA,束流不均匀性优于±25％。
- 姜韶凤卢大伦杨继芳由智林刘明哲关成立
- 关键词：离子源
- 100keV,20mA多磁极会切场离子源的研制与调试
- 1991年
- 一、引 言 在科学技术领域中,离子源的应用越来越广泛,形成了一门独立的学科——离子应用科学。尤其是70年代以来由于离子注入技术应用到材料表面改性的研究取得进展,从而使离子注入技术得到发展。 离子注入材料表面改性是一门新技术,它的优点是离子注入不通过加热形成特定的原子混合,又能快速引入晶格缺陷,从而改变金属的微观结构及相成分,最后导致金属宏观性质的改变。
- 钟溥刘明哲陶士惠陈栞张开文饶绍英
- 关键词：离子源
