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郑宜波

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇阳极
  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇键合
  • 1篇键合技术
  • 1篇FAM

机构

  • 1篇中国科学院上...

作者

  • 1篇张敏
  • 1篇何德湛
  • 1篇郑宜波

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇1997
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
原子力显微镜微探针制造及阳极键合技术被引量：3
1997年
首先简介原子力显微镜（ＡＦＭ）的特点，然后叙述阳极键合技术的原理，以及此技术在微探针制造中的应用。
何德湛郑宜波张敏
关键词：原子力显微镜FAM阳极键合技术
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共1页<1>
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