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赵双双
作品数:
3
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浙江大学
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自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
杨国光
浙江大学
周巧芬
浙江大学
徐建峰
浙江大学
侯昌伦
浙江大学
白剑
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赵双双
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杨国光
年份
1篇
2013
1篇
2012
1篇
2009
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基于硅基高速电光调制的波导环形谐振腔的微加速度计
本发明公开了一种基于硅基高速电光调制的波导环形谐振腔的微加速度计。它包括SOI基底、质量块、悬臂梁、环形谐振腔以及PN结。SOI基底通过悬臂梁与质量块连接,SOI基底与悬臂梁连接处制作环形谐振腔,环形谐振腔包括直波导、环...
赵双双
周巧芬
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徐建峰
白剑
杨国光
文献传递
微光学集成的高精度MOEMS加速度传感器研究
微加速度传感器是军械、车辆、船舶等抗冲击、抗振动测量,地震监测,惯性导航与制导系统的重要传感器,特别是微型10-6-10-9 g量级的高精度加速度传感器更是先进军事与国防创新研究的高技术基础,对精密导航,目标定位,陆地,...
赵双双
关键词:
加速度传感器
微光机电系统
基于硅基高速电光调制的波导环形谐振腔的微加速度计
本发明公开了一种基于硅基高速电光调制的波导环形谐振腔的微加速度计。它包括SOI基底、质量块、悬臂梁、环形谐振腔以及PN结。SOI基底通过悬臂梁与质量块连接,SOI基底与悬臂梁连接处制作环形谐振腔,环形谐振腔包括直波导、环...
赵双双
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