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肇之雯

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇铜布线
  • 1篇铜互连
  • 1篇铜互连线
  • 1篇阻挡层
  • 1篇镶嵌工艺
  • 1篇扩散阻挡层
  • 1篇互连
  • 1篇互连线
  • 1篇ULSI

机构

  • 1篇河北工业大学

作者

  • 1篇刘玉岭
  • 1篇程东升
  • 1篇袁育杰
  • 1篇肇之雯

传媒

  • 1篇第十四届全国...

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
ULSI多层铜布线镶嵌工艺的研究
本文介绍了铜作为互连金属的优点、面临的困难及解决方案,讨论了阻挡层材料和低介电常数材料的的作用及选取原则,介绍了制备铜互连线的镶嵌工艺,指出其亟待解决的技术和理论问题并对其发展方向进行了展望.
袁育杰刘玉岭肇之雯程东升
关键词：ULSI铜互连线扩散阻挡层镶嵌工艺
文献传递
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