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粱艳

作品数:1 被引量:5H指数:1
供职机构:河南工业大学设计艺术学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇直流反应磁控...
  • 1篇透射
  • 1篇透射率
  • 1篇微结构
  • 1篇溅射
  • 1篇反射率
  • 1篇反应磁控溅射
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇郑州大学
  • 1篇河南工业大学

作者

  • 1篇冯红亮
  • 1篇张增院
  • 1篇宁皓
  • 1篇林清耿
  • 1篇马姣民
  • 1篇卢景霄
  • 1篇粱艳
  • 1篇郜小勇

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2010
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
氧化银薄膜的微结构对其反射率和透射率的影响被引量:5
2010年
保持150℃的衬底温度不变,通过调节氧氩比(OFR=[O2]/[Ar]),利用直流反应磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了一系列氧化银薄膜。利用X射线衍射谱、扫描电子显微镜和分光光度计重点研究了薄膜的微结构对其反射率和透射率的影响。研究表明随着OFR的升高,氧化银薄膜呈现了从Ag+Ag2O多晶结构到Ag2O多晶结构的演变。薄膜的表面相应地呈现了从疏松的多孔结构到类金字塔结构的演变。较高的Ag2O含量和致密的表面形貌有利于薄膜可见和红外区的透光性,而较高的银含量和疏松的多孔结构则造成对光的强烈吸收,急剧地降低了薄膜的透射率和反射率。特别是在OFR为0.5条件下成功制备了具有(111)择优取向的Ag2O多晶薄膜,有效地将氧化银热分解的临界温度降低到200℃左右。
冯红亮粱艳郜小勇林清耿张增院马姣民卢景霄宁皓
关键词:直流反应磁控溅射
共1页<1>
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