林清耿
- 作品数：5 被引量：12H指数：3
- 供职机构：郑州大学物理工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 掺铝氧化锌薄膜表面织构机制的研究
- 2009年
- 采用氯化铵(NH4Cl)溶液对磁控溅射技术制备的掺铝氧化锌(AZO)薄膜进行表面织构,并对其表面织构机制进行研究。研究结果表明NH4Cl溶液优先与间隙锌、间隙铝等缺陷和晶界处的堆积铝反应,而较大的相对应力和稀疏表面有助于间隙锌、间隙铝等缺陷和堆积铝的形成。它们对NH4Cl对AZO薄膜的表面织构很关键。
- 郜小勇林清耿冯红亮陈永生杨仕娥谷锦华卢景霄
- 关键词：氯化铵表面织构
- 掺铝氧化锌薄膜的相关特性研究
- 近年来,由于Al掺杂ZnO薄膜具有与ITO薄膜相比拟的光电性能,又因其原料丰富、价格低廉以及在氢等离子体环境下稳定等优点,已经成为透明导电薄膜领域的研究和应用热点之一。将表面织构后的ZnO:Al(AZO)薄膜代替SnO2...
- 林清耿
- 关键词：电学特性光学特性包络法
- 文献传递
- 中频直流磁控反应溅射法制备掺铝氧化锌薄膜的研究被引量：6
- 2008年
- 利用中频直流磁控反应溅射法(MF-DC-MS)在玻璃衬底上制备了掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜。利用X射线衍射(XRD)、四探针法和分光光度计深入研究了衬底温度对AZO薄膜的结构、电学和光学特性的影响。研究结果表明3h的沉积使AZO薄膜丧失了(002)c轴择优取向。随着衬底温度由210℃升高到270℃,AZO薄膜的电阻率从7.5×10-3Ω.cm降低到2.5×10-3Ω.cm。高于270℃后,电阻率又略有升高。电阻率的变化趋势可从薄膜微观结构的角度得到合理解释。随着衬底温度的升高,AZO薄膜的吸收边先发生了蓝移。高于270℃后,又发生了红移。利用Burstein-Moss效应分析了AZO薄膜吸收边的蓝移和红移。该结果和电阻率的结果相印证。
- 林清耿郜小勇刘玉芬卢景霄
- 关键词：吸收边
- 掺铝氧化锌透明导电薄膜的表面织构研究被引量：3
- 2008年
- 利用中频直流磁控反应溅射法在玻璃衬底上首先制备了掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜,然后利用5%的氯化铵(NH4Cl)溶液对制备的AZO薄膜进行表面织构。利用扫描电子显微镜(SEM)、四探针法和分光光度计分别测量并研究了织构前后薄膜的表面形貌、电学和光学特性。研究结果表明NH4Cl水溶液容易控制AZO的表面织构过程,并且可以获得较好的绒面。表面织构后,薄膜在可见光波段的平均反射率从12%降低到7.86%,而电阻率略有增大,该结果和表面织构结果一致。
- 林清耿郜小勇刘玉芬卢景霄
- 关键词：氯化铵表面织构
- 氧化银薄膜的微结构对其反射率和透射率的影响被引量：5
- 2010年
- 保持150℃的衬底温度不变,通过调节氧氩比(OFR=[O2]/[Ar]),利用直流反应磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了一系列氧化银薄膜。利用X射线衍射谱、扫描电子显微镜和分光光度计重点研究了薄膜的微结构对其反射率和透射率的影响。研究表明随着OFR的升高,氧化银薄膜呈现了从Ag+Ag2O多晶结构到Ag2O多晶结构的演变。薄膜的表面相应地呈现了从疏松的多孔结构到类金字塔结构的演变。较高的Ag2O含量和致密的表面形貌有利于薄膜可见和红外区的透光性,而较高的银含量和疏松的多孔结构则造成对光的强烈吸收,急剧地降低了薄膜的透射率和反射率。特别是在OFR为0.5条件下成功制备了具有(111)择优取向的Ag2O多晶薄膜,有效地将氧化银热分解的临界温度降低到200℃左右。
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- 关键词：直流反应磁控溅射
