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彭贵勇

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇运动控制
  • 2篇同步控制
  • 2篇总线
  • 2篇网口
  • 2篇控制方法
  • 2篇VME总线
  • 2篇标准总线

机构

  • 2篇哈尔滨工业大...

作者

  • 2篇陈兴林
  • 2篇王公峰
  • 2篇郝中洋
  • 2篇刘杨
  • 2篇李聪
  • 2篇闫华星
  • 2篇彭贵勇

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法
基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法，本发明具体涉及基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法。它为了解决步进扫描光刻机曝光过程中的同步误差大，光刻效率低的问题。本发...
刘杨郝中洋李聪王公峰闫华星彭贵勇陈兴林
基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法
基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法，本发明具体涉及基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法。它为了解决步进扫描光刻机曝光过程中的同步误差大，光刻效率低的问题。本发...
刘杨郝中洋李聪王公峰闫华星彭贵勇陈兴林
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