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闫华星

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇运动控制
  • 2篇同步控制
  • 2篇总线
  • 2篇网口
  • 2篇控制方法
  • 2篇VME总线
  • 2篇标准总线
  • 1篇虚拟现实
  • 1篇三维仿真
  • 1篇三维仿真平台
  • 1篇工件台
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻机
  • 1篇仿真
  • 1篇仿真平台

机构

  • 3篇哈尔滨工业大...

作者

  • 3篇闫华星
  • 2篇陈兴林
  • 2篇王公峰
  • 2篇郝中洋
  • 2篇刘杨
  • 2篇李聪
  • 2篇彭贵勇

年份

  • 1篇2013
  • 2篇2012
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法
基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法，本发明具体涉及基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法。它为了解决步进扫描光刻机曝光过程中的同步误差大，光刻效率低的问题。本发...
刘杨郝中洋李聪王公峰闫华星彭贵勇陈兴林
双工件台光刻机虚拟现实三维仿真平台设计
光刻技术与半导体集成电路地位的日益突出,而仿真对光刻机新型样机的研发与集成电路的生产意义重大,高质量的仿真技术可以缩短开发周期、降低研究成本、提高光刻机性能进而增强集成电路的生产质量。为了克服传统半物理仿真平台可视化的局...
闫华星
关键词：光刻机虚拟现实三维仿真平台运动控制
基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法
基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法，本发明具体涉及基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法。它为了解决步进扫描光刻机曝光过程中的同步误差大，光刻效率低的问题。本发...
刘杨郝中洋李聪王公峰闫华星彭贵勇陈兴林
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