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张琳霞
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供职机构:
西安电子科技大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
郝跃
西安电子科技大学
马晓华
西安电子科技大学
王冲
西安电子科技大学
张进成
西安电子科技大学
艾姗
西安电子科技大学
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张琳霞
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张进成
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王冲
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侯耀伟
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1篇
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GaN基增强型器件及AlGaN//GaN二次生长的研究
GaN基材料具有优良的特性,如宽的禁带宽度、高击穿场强、高电子饱和速度以及能形成高迁移率、高密度的二维电子气,因此,基于GaN的高电子迁移率晶体管(HEMT)在高功率开关、微波放大器及高温集成电路方面有出色的应用潜力。A...
张琳霞
关键词:
高电子迁移率晶体管
仿真
增强型
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MS栅GaN基增强型高电子迁移率晶体管及制作方法
本发明公开了一种金属半导体MS栅GaN基增强型高电子迁移率晶体管及制作方法,主要解决现有GaN基增强型器件的阈值电压低及其可控行性差以及可靠性低的问题。该器件包括:衬底(1)、过渡层(2)、GaN主缓冲层(3)、N型Al...
张进成
张琳霞
郝跃
王冲
马晓华
孟凡娜
侯耀伟
党李莎
艾姗
李小刚
鲁明
文献传递
基于GaN的MIS栅增强型HEMT器件及制作方法
本发明公开了一种基于GaN的MIS栅增强型HEMT器件及制作方法,主要解决现有GaN基增强型器件电流密度低及可靠性低的问题。该器件结构为:衬底(1)上依次设有过渡层(2)和GaN主缓冲层(3),GaN主缓冲层(3)的中间...
张进成
张琳霞
郝跃
马晓华
王冲
霍晶
艾姗
党李莎
孟凡娜
姜腾
赵胜雷
文献传递
GaN基的MS栅增强型高电子迁移率晶体管及制作方法
本发明公开了一种GaN基的MS栅增强型高电子迁移率晶体管及制作方法,主要解决GaN基增强型器件电流密度低以及可靠性低的问题。该器件结构为:衬底(1)上依次设有过渡层(2)和GaN主缓冲层(3),GaN主缓冲层中间刻蚀有凹...
张进成
张琳霞
郝跃
马晓华
王冲
艾姗
周昊
李小刚
霍晶
张宇桐
基于GaN的MIS栅增强型HEMT器件及制作方法
本发明公开了一种基于GaN的MIS栅增强型HEMT器件及制作方法,主要解决现有GaN基增强型器件电流密度低及可靠性低的问题。该器件结构为:衬底(1)上依次设有过渡层(2)和GaN主缓冲层(3),GaN主缓冲层(3)的中间...
张进成
张琳霞
郝跃
马晓华
王冲
霍晶
艾姗
党李莎
孟凡娜
姜腾
赵胜雷
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MIS栅GaN基增强型HEMT器件及制作方法
本发明公开了一种MIS栅GaN基增强型HEMT器件及制作方法,主要解决现有GaN基增强型器件阈值电压低及其可控性差以及可靠性低的问题。该器件包括:衬底(1)、过渡层(2)、GaN主缓冲层(3)和N型AlGaN主势垒层(4...
张进成
张琳霞
郝跃
王冲
马晓华
党李莎
鲁明
周昊
孟凡娜
侯耀伟
姜腾
文献传递
GaN基的MS栅增强型高电子迁移率晶体管及制作方法
本发明公开了一种GaN基的MS栅增强型高电子迁移率晶体管及制作方法,主要解决GaN基增强型器件电流密度低以及可靠性低的问题。该器件结构为:衬底(1)上依次设有过渡层(2)和GaN主缓冲层(3),GaN主缓冲层中间刻蚀有凹...
张进成
张琳霞
郝跃
马晓华
王冲
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