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艾姗
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8
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供职机构:
西安电子科技大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
郝跃
西安电子科技大学
马晓华
西安电子科技大学
张琳霞
西安电子科技大学
王冲
西安电子科技大学
张进成
西安电子科技大学
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作者
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艾姗
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马晓华
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郝跃
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张进成
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王冲
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张琳霞
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霍晶
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赵胜雷
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张宇桐
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许晟瑞
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毕志伟
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毛维
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张进城
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薛晓咏
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周昊
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姜腾
年份
2篇
2014
2篇
2013
4篇
2012
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GaN基的MS栅增强型高电子迁移率晶体管及制作方法
本发明公开了一种GaN基的MS栅增强型高电子迁移率晶体管及制作方法,主要解决GaN基增强型器件电流密度低以及可靠性低的问题。该器件结构为:衬底(1)上依次设有过渡层(2)和GaN主缓冲层(3),GaN主缓冲层中间刻蚀有凹...
张进成
张琳霞
郝跃
马晓华
王冲
艾姗
周昊
李小刚
霍晶
张宇桐
a面GaN外延层薄膜腐蚀应力的拉曼表征方法
本发明公开了一种a面GaN外延层薄膜腐蚀应力的拉曼表征方法。其实现流程为:首先,对a面GaN外延层薄膜进行表面清洁;其次,对其进行拉曼散射测试,得到腐蚀前E<Sub>2</Sub>声子模的频移值;然后,对薄膜样品进行KO...
郝跃
王党会
许晟瑞
张进城
张金凤
毕志伟
毛维
马晓华
赵胜雷
薛晓咏
艾姗
文献传递
基于GaN的MIS栅增强型HEMT器件及制作方法
本发明公开了一种基于GaN的MIS栅增强型HEMT器件及制作方法,主要解决现有GaN基增强型器件电流密度低及可靠性低的问题。该器件结构为:衬底(1)上依次设有过渡层(2)和GaN主缓冲层(3),GaN主缓冲层(3)的中间...
张进成
张琳霞
郝跃
马晓华
王冲
霍晶
艾姗
党李莎
孟凡娜
姜腾
赵胜雷
文献传递
基于GaN的MIS栅增强型HEMT器件及制作方法
本发明公开了一种基于GaN的MIS栅增强型HEMT器件及制作方法,主要解决现有GaN基增强型器件电流密度低及可靠性低的问题。该器件结构为:衬底(1)上依次设有过渡层(2)和GaN主缓冲层(3),GaN主缓冲层(3)的中间...
张进成
张琳霞
郝跃
马晓华
王冲
霍晶
艾姗
党李莎
孟凡娜
姜腾
赵胜雷
文献传递
MS栅GaN基增强型高电子迁移率晶体管及制作方法
本发明公开了一种金属半导体MS栅GaN基增强型高电子迁移率晶体管及制作方法,主要解决现有GaN基增强型器件的阈值电压低及其可控行性差以及可靠性低的问题。该器件包括:衬底(1)、过渡层(2)、GaN主缓冲层(3)、N型Al...
张进成
张琳霞
郝跃
王冲
马晓华
孟凡娜
侯耀伟
党李莎
艾姗
李小刚
鲁明
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缓冲层厚度对GaN基异质结材料和器件的影响研究
由于GaN及其合金的优良特性,如高饱和速度,高击穿电压和好的导热特性,使其倍受关注,GaN HEMT器件被誉为理想的微波功率器件。然而,由于缺少本征衬底,近20年来GaN HEMT微波功率器件的研究都是基于SiC、蓝宝石...
艾姗
关键词:
位错密度
迁移率
文献传递
GaN基的MS栅增强型高电子迁移率晶体管及制作方法
本发明公开了一种GaN基的MS栅增强型高电子迁移率晶体管及制作方法,主要解决GaN基增强型器件电流密度低以及可靠性低的问题。该器件结构为:衬底(1)上依次设有过渡层(2)和GaN主缓冲层(3),GaN主缓冲层中间刻蚀有凹...
张进成
张琳霞
郝跃
马晓华
王冲
艾姗
周昊
李小刚
霍晶
张宇桐
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a面GaN外延层薄膜腐蚀应力的拉曼表征方法
本发明公开了一种a面GaN外延层薄膜腐蚀应力的拉曼表征方法。其实现流程为:首先,对a面GaN外延层薄膜进行表面清洁;其次,对其进行拉曼散射测试,得到腐蚀前E<Sub>2</Sub>声子模的频移值;然后,对薄膜样品进行KO...
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王党会
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