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张春林
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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合作作者
周慧英
中国科学院半导体研究所
王占国
中国科学院半导体研究所
曲胜春
中国科学院半导体研究所
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张春林
年份
1篇
2007
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利用阳极氧化浴槽制备有序的阳极氧化铝通孔模板的方法
一种利用阳极氧化浴槽制备有序的阳极氧化铝通孔模板的方法,其特征在于,包含下列步骤:1)取一衬底;2)在衬底上蒸镀金属铝膜;3)将蒸镀有金属铝膜的衬底固定在阳极氧化浴槽装置中;4)蒸镀有金属铝膜的衬底在阳极氧化浴槽中的电解...
周慧英
曲胜春
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张春林
王占国
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