您的位置： 专家智库 > >

向恢复

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：深圳大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇氩气
  • 2篇溅射
  • 2篇衬底
  • 1篇导电薄膜
  • 1篇柔性衬底
  • 1篇射频
  • 1篇透明导电
  • 1篇透明导电薄膜
  • 1篇缓冲室
  • 1篇靶材
  • 1篇AZO
  • 1篇衬底温度
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇高性能

机构

  • 2篇深圳大学

作者

  • 2篇吕有明
  • 2篇贾芳
  • 2篇柳文军
  • 2篇朱德亮
  • 2篇曹培江
  • 2篇向恢复
  • 1篇韩舜
  • 1篇黄保
  • 1篇李清华
  • 1篇盛国浩
  • 1篇叶家聪
  • 1篇马晓翠
  • 1篇曾玉祥

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
室温下柔性衬底上制备高性能AZO透明导电薄膜的方法
本发明公开了一种室温下柔性衬底上制备高性能AZO透明导电薄膜的方法，工艺步骤如下，将柔性衬底放入磁控溅射装置里，并对进样室和溅射室抽真空；将柔性衬底送到溅射室的转盘上，再将溅射室的真空度抽至1×10<Sup>-4</Su...
朱德亮吕有明韩舜曹培江柳文军贾芳曾玉祥向恢复
文献传递
一种磁控溅射掺杂ZnO基薄膜的制备方法
本发明提供了一种磁控溅射掺杂生长ZnO基薄膜的制备方法，包括步骤：将衬底放置在磁控溅射装置的反应室内，反应室抽真空至压力低于1×10<Sup>-4</Sup>Pa；分别将ZnO靶材和掺杂源元素靶材放置在反应室转盘上的射频...
马晓翠吕有明柳文军曹培江朱德亮贾芳黄保李清华盛国浩叶家聪向恢复
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0