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魏琼
作品数:
2
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供职机构:
清华大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
祁鑫
清华大学
李玉和
清华大学
胡小根
清华大学
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机构
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清华大学
作者
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胡小根
2篇
魏琼
2篇
李玉和
2篇
祁鑫
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1篇
2013
1篇
2010
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一种基于光纤传感的扫描探针表面测量系统和测量方法
本发明提供了一种基于光纤传感的扫描探针表面测量系统和测量方法,所述系统包括:光纤位移传感单元,用于检测发射光纤入射到接收光纤的光功率,将光功率转换成电信号输入系统控制单元;光纤对准单元;微悬臂探针单元,用于通过改变弹性微...
李玉和
胡小根
祁鑫
魏琼
一种基于光纤传感的扫描探针表面测量系统和测量方法
本发明提供了一种基于光纤传感的扫描探针表面测量系统和测量方法,所述系统包括:光纤位移传感单元,用于检测发射光纤入射到接收光纤的光功率,将光功率转换成电信号输入系统控制单元;光纤对准单元;微悬臂探针单元,用于通过改变弹性微...
李玉和
胡小根
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