祁鑫
- 作品数：11 被引量：17H指数：1
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信更多>>
- 深亚微米飞行高度测试技术及实验研究
- 近场存储技术中飞行头与存储介质间飞行高度测试成为高密度存储关键技术。本文采用双波长多步法对测试进行数学建模,利用改进遗传算法实现高非线性光学方程组求解;搭建飞行高度测试实验系统,对"起飞"、"着陆"飞行过程进行测试实验与...
- 李玉和管恺森乔振东伍震环祁鑫
- 关键词：飞行高度改进遗传算法
- 文献传递
- 一种远距离三维微小形变视觉在线监测方法和系统
- 本发明提供了一种远距离三维微小形变视觉在线监测方法和系统，包括复合靶标、激光光源、视觉探测、定位云台、电控器、光纤传输、数字采集卡和工控机，系统中视觉探测和激光光源可以实现三维监测，总体设计结构简单，安装调试方便，同时，...
- 李玉和祁鑫胡小根
- 文献传递
- 一种基于光纤传感的扫描探针表面测量系统和测量方法
- 本发明提供了一种基于光纤传感的扫描探针表面测量系统和测量方法，所述系统包括：光纤位移传感单元，用于检测发射光纤入射到接收光纤的光功率，将光功率转换成电信号输入系统控制单元；光纤对准单元；微悬臂探针单元，用于通过改变弹性微...
- 李玉和胡小根祁鑫魏琼
- 一种基于光纤传感的扫描探针表面测量系统和测量方法
- 本发明提供了一种基于光纤传感的扫描探针表面测量系统和测量方法，所述系统包括：光纤位移传感单元，用于检测发射光纤入射到接收光纤的光功率，将光功率转换成电信号输入系统控制单元；光纤对准单元；微悬臂探针单元，用于通过改变弹性微...
- 李玉和胡小根祁鑫魏琼
- 文献传递
- 压电驱动器迟滞建模与开环控制实验研究被引量：1
- 2010年
- 压电位移扫描技术可实现纳米级位移分辨率,但其迟滞现象会降低系统测量精度。该文依据大量实验现象中压电驱动器迟滞存在点对称性特征,建立了一种压电驱动器迟滞的数学模型。本模型由实验数据拟合上升主回线,再根据压电驱动器的点对称性,计算出其他上升或下降回线,同时得到其逆模型。利用逆模型对压电驱动器进行开环控制实验结果表明,实验系统控制误差范围为-36^+47 nm。
- 胡小根李玉和林浩山童晓蕾祁鑫
- 关键词：压电驱动器开环控制
- 近场飞行头工况测试技术及实验研究
- 祁鑫
- 关键词：近场光存储改进遗传算法可视化环境
- 深亚微米飞行高度测试技术及实验研究
- 2015年
- 近场存储技术中飞行头与存储介质间飞行高度测试成为高密度存储关键技术.本文采用双波长多步法对测试进行数学建模,利用改进遗传算法实现高非线性光学方程组求解;搭建飞行高度测试实验系统,对“起飞”、“着陆”飞行过程进行测试实验与分析计算,与DFHT比对结果表明:工作状态下近场飞高为67 nm,飞高波动小于3nm,该测试方法及求解算法可满足飞行头纳米尺度飞高测量要求.
- 李玉和管恺森乔振东伍震环祁鑫
- 关键词：飞行高度改进遗传算法
- 一种远距离三维微小形变视觉在线监测方法和系统
- 本发明提供了一种远距离三维微小形变视觉在线监测方法和系统，包括复合靶标、激光光源、视觉探测、定位云台、电控器、光纤传输、数字采集卡和工控机，系统中视觉探测和激光光源可以实现三维监测，总体设计结构简单，安装调试方便，同时，...
- 李玉和祁鑫胡小根
- 纳米尺度飞高测试的实验研究
- 近场存储技术是近年来最具发展潜力的信息存储技术之一,微飞行头与存储介质间的飞行高度测试成为高密度存储的关键。本文采用双波长多步法对飞高测试进行数学建模,利用遗传算法实现飞高测试的非线性光学方程组求解。同时,对复折射率的同...
- 祁鑫李玉和王亮林浩山童晓蕾胡小根
- 关键词：飞行高度
- 文献传递
- 超精表面三维形貌相移干涉检测实验研究被引量：16
- 2009年
- 超精表面检测技术已成为超精密测量技术重要组成部分。本文提出了一种超精表面三维形貌的相移干涉显微检测方法。检测系统引入偏振分光棱镜,建立相移检偏干涉与三维形貌重构模型,采用四帧相移与轮廓中线法进行相位与粗糙度参数计算。编制图像处理与系统测试软件,并对标准样品进行实验,结果表明:样品粗糙度重复测量精度达2.8nm,测试系统具有抗干扰能力强、稳定性好等特点。
- 童晓蕾李玉和林浩山祁鑫
- 关键词：相移干涉粗糙度三维形貌
