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陈培棣
作品数:
4
被引量:5
H指数:1
供职机构:
南京电子器件研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李勇
南京电子器件研究所
王祥邦
南京电子器件研究所
谭卫东
南京电子器件研究所
张树丹
南京电子器件研究所
王因生
南京电子器件研究所
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作者
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陈培棣
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谭卫东
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1998
1篇
1995
1篇
1993
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C波段3瓦T形电极硅双极晶体管
被引量:1
1995年
本文报道了一种自对准T形电极结构的硅双极晶体管的制作和实验结果.这种结构的晶体管发射极和基极接触窗口的间距仅0.4μm,发射极排列周期为4μm.测试结果表明,晶体管在4.2GHz下,连续波输出功率大于3W,增益8dB和集电极效率40%;作为振荡应用时。在4.3GHz的振荡频率下,振荡输出功率可达1W,DC-RF转换效率为20%.
张树丹
王因生
李相光
陈统华
谭卫东
郑承志
刘六亭
陈培棣
关键词:
双极晶体管
硅晶体管
晶体管
真空微四极管
陈培棣
韩非
关键词:
微电子技术
场致发射
四极管
真空微电子学
电子器件
声表面波器件制作中的干法刻蚀工艺
被引量:4
2005年
声表面波器件广泛应用于有线和无线通讯中。利用半导体加工工艺制作声表面波器件,由于所使用的工艺的特殊性,并不能完全按照硅工艺。该文讲述了用干法刻蚀工艺制作声表面波器件及其工艺特殊性。
王祥邦
李勇
陈培棣
关键词:
反应离子刻蚀
压电材料
叉指换能器
NDR系列声表面波谐振器批生产技术研究
1998年
声表面波谐振器作为频率控制元件,要求谐振频率准确,批量生产技术难度较大。本文对批生产的要素,关键工艺技术和工艺过程质量控制等方面进行了讨论。已批量生产的NOR系列声表面波谐振器三大系列百余品种,性能均达到国外同类器件水平,生产线通过ISO9002质量保证体系认证。
陈培棣
蒋海涛
尤民
孙娟
夏兆锋
关键词:
声表面波
声表面波器件
谐振器
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