李勇
- 作品数：5 被引量：11H指数：2
- 供职机构：南京电子器件研究所更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- ST34°切割石英上表面横波的金属栅阵反射特性被引量：1
- 2007年
- 由于表面横波(STW)器件具有温度稳定性好、声速高、功率处理能力强等优点,过去几年中,人们愈来愈重视发展STW器件.金属反射栅是谐振器及谐振型滤波器的重要组成部分,其性能的好坏对整个器件的性能影响很大,此前对金属反射栅特性的一些理论计算是在假设每根指条的金属化比和金属膜厚都完全一样的条件下获得的模拟结果,而且模式转化也很难精确估计,这就带来了理论计算与实验结果的明显差异.研究的主要目的是在实验上揭示表面横波在金属反射栅阵下传播的基本特性,为石英上STW高频谐振型器件的设计与开发提供实验数据.文中对ST34°切石英上SAW与STW的金属栅阵反射特性进行了实验比较.试验结果表明,在相同条件下STW的金属栅阵反射效率要高于声表面波(SAW)的反射效率,它与SAW金属反射栅阵的本质区别是不论短路还是开路栅阵,STW的金属栅阵反射中心都低于换能器的激发中心.为验证实验结果,文中设计了915MHz的STW单端对谐振器,其中换能器与反射栅的频率差取值比声表面波小,而且反射栅也由301根减到201根,测试结果表明谐振器的插入损耗和Q值等关键参数没有明显退化.
- 李勇李勇
- 关键词：声表面波
- 声表面波器件制作中的干法刻蚀工艺被引量：4
- 2005年
- 声表面波器件广泛应用于有线和无线通讯中。利用半导体加工工艺制作声表面波器件,由于所使用的工艺的特殊性,并不能完全按照硅工艺。该文讲述了用干法刻蚀工艺制作声表面波器件及其工艺特殊性。
- 王祥邦李勇陈培棣
- 关键词：反应离子刻蚀压电材料叉指换能器
- 横向耦合谐振滤波器寄生响应抑制
- 1999年
- 李勇蒋海涛
- 关键词：滤波器
- 高频窄带声表面波滤波器被引量：6
- 1999年
- 为满足温漂要求，同时避免驻波效应，利用剥离工艺在石英基片上制作了中心频率为１１２８ＭＨｚ，３ｄＢ带宽为２．８ＭＨｚ，插入损耗＞－１２ｄＢ，带外抑制＞４０ｄＢ的高频窄带声表面波滤波器。
- 李勇谢中华周宗闽章德翟凡王蓉
- 关键词：声表面波滤波器声表面波器件
- 利用准谐频叉指换能器实现GHz高频SAW滤波器
- 1999年
- 本文利用准谐频设计方法，在常规光刻工艺水平上，成功地实现了ＧＨｚ级声表面波（ＳＡＷ）器件。准谐频叉指换能器（ＱＨＩＤＴ）的优点为：其指条宽与指间隙可以比一般的单指换能器宽，克服了单指换能器内指间的多次反射，并且又较好地解决了普通谐频叉指换能器基频抑制不好的缺点。本文给出了制作在ＳＴ石英基片上，工作频率１１２８ＭＨｚ的声表面波滤波器的实验结果。
- 翟凡章德李勇谢中华
- 关键词：声表面波滤波器GHZSAW
