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陆海纬

作品数：8 被引量：25H指数：3
供职机构：复旦大学化学系激光化学研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 4篇电子电信
  • 2篇理学
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇电化学
  • 4篇离子束
  • 4篇聚焦离子束
  • 3篇电纺
  • 3篇电纺丝
  • 3篇电化学性能
  • 3篇纳米
  • 3篇纳米丝
  • 3篇纺丝
  • 2篇阈值电压
  • 2篇静电纺
  • 2篇静电纺丝
  • 2篇静电纺丝法
  • 1篇单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇电池
  • 1篇电极
  • 1篇电极材料
  • 1篇电离辐射
  • 1篇性能研究

机构

  • 8篇复旦大学

作者

  • 8篇陆海纬
  • 6篇曾韡
  • 5篇李越生
  • 4篇宋云
  • 3篇傅正文
  • 3篇陈忠浩
  • 3篇郑国祥
  • 2篇王蓓
  • 2篇周永宁
  • 1篇王振雄
  • 1篇李达
  • 1篇曹永明
  • 1篇张兆强
  • 1篇孙柯

传媒

  • 2篇复旦学报（自...
  • 2篇固体电子学研...
  • 1篇无机化学学报
  • 1篇无机材料学报
  • 1篇2006年全...

年份

  • 1篇2009
  • 1篇2008
  • 3篇2007
  • 3篇2006
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
聚焦离子束辐照对MOS晶体管性能的影响
2007年
聚焦离子束(Focusedionbeam)系统现在被广泛应用于大规模集成电路的修补中,FIB辐照对器件性能的影响受到广泛的关注。研究了两种栅尺寸的NMOS晶体管(20μm×20μm和20μm×0.8μm)在不同辐射剂量作用下的阈值电压变化情况,发现在辐射后的阈值电压都发生了明显的漂移,辐照后的晶体管阈值电压在室温环境下静置数日后有约30%的恢复,而在退火条件下阈值电压几乎完全恢复。文中从理论上对电离辐射引起阈值电压的漂移予以解释,使实际的电路修补工作最优化,从而确保器件在修补后的可靠性。
宋云陆海纬陈忠浩张兆强郑国祥李越生曾韡
关键词：聚焦离子束电离辐射阈值电压
三维尖晶石Li_4Ti_5O_(12)纳米丝网状电极的构置与电化学性能被引量：7
2006年
首次采用电纺丝技术结合高温退火成功地构置了含尖晶石Li4Ti5O12的纳米纤维丝三维(3D)网状结构,并测量了三维电池的充放电性能。X射线衍射谱(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和电池循环性能测试等方法表征纤维丝3D结构和电化学性能。研究结果表明了Li4Ti5O12纳米丝的零应变特性、构建的3D阵列的结构稳定性和在大电流密度下较好的充放电性能。显示了Li4Ti5O12可作为3D电池的电极材料。
陆海纬周永宁曾韡李越生傅正文
关键词：电纺丝
聚焦离子束在精细加工中引起损伤的分析被引量：2
2007年
微分析技术已经成为微电子产业发展的重要技术支撑,FIB(focusedion beam)结合了精细加工技术和微分析技术,具有在亚微米线度上的微细加工和高分辨率成像的能力,成为强有力的TEM(transmission electron microscope)制样工具以及电路修补的有力工具.同时,FIB辐照对样品结构的损伤以及器件性能的影响受到广泛的关注.为使实际FIB的工作更优化,更有针对性,从而确保不同器件在FIB加工后的可靠性,从研究FIB辐射对材料结构的损伤入手,针对两种不同类型的晶体管(常规工艺NMOS晶体管和埋沟工艺PMOS晶体管),进行了FIB辐照下的电学性能对比.较常规工艺的NMOS晶体管,埋沟工艺的PMOS晶体管在跨导和迁移率等参数的变化情况与前者相似,但是在阈值电压变化,辐照损伤修复方面,后者显示出独特的性能.
宋云陆海纬王振雄郑国祥李越生曾韡
关键词：聚焦离子束阈值电压
聚焦离子束溅射刻蚀与增强刻蚀的性能研究被引量：3
2006年
利用聚集离子束(F IB)对小线度下(≤3μm)的溅射刻蚀与增强刻蚀的性能进行了实验和分析。通过对硅和铝的刻蚀实验,研究在溅射刻蚀与增强刻蚀方法下刻蚀速率、蚀坑形貌与离子束流大小的关系。实验发现,铝和硅的刻蚀速率与刻蚀束流近似成线性关系;束流增大到一定程度后由于束斑变大及瞬时重淀积的作用,刻蚀速率曲线偏离线性。使用卤化物气体的增强刻蚀,硅和铝的刻蚀速率得到不同程度地提高。根据蚀坑形貌与束流大小的关系分析,发现瞬时重淀积是影响小线度刻蚀质量的主要因素。增强刻蚀大大减小了蚀坑的坑璧倾角,而坑底倾斜问题需综合考虑。
陆海纬陈忠浩王蓓宋云曾韡郑国祥
静电纺丝法制备氧化锰纳米丝电极及其电化学性能被引量：12
2009年
利用静电纺丝技术成功制备了60~80nm的氧化锰纳米纤维丝,并构建了三维纳米丝网状结构电极,应用于锂离子二次电池.使用扫描电子显微镜、X射线衍射、循环伏安和电池充放电等研究手段,表征了纳米纤维丝的结构和电化学性能.研究结果发现：氧化锰构建的纳米丝在嵌锂和脱锂的过程中没有出现纳米纤维丝的结构塌陷问题,在高能量密度下表现出较大的可逆循环容量,放电容量达到160mAh/g.经过50次循环后,容量可达132.5mAh/g,平均每次循环的容量衰减在1%以下.这些结果表明了氧化锰纳米纤维丝可作为三维锂离子电池中的阴极材料.
孙柯陆海纬李达曾韡李越生傅正文
关键词：静电纺丝纳米丝氧化锰锂离子电池
静电喷雾法构置TiO2纳米丝阵列及其电化学性能
采用静电喷雾技术成功地构置了含钛纳米纤维丝三维阵列结构,并测量了基于锐钛矿TiO2的三维电池的充放电性能。X射线衍射谱、扫描电子显微镜和电池循环性能测试等方法表征了纤维丝阵列结构和电化学性能。结果表明,在500℃退火后能...
陆海纬周永宁曾(耩)李越生傅正文
关键词：电极材料二氧化钛电化学性能
聚焦离子束无掩膜注入单晶硅离子浓度深度分布的研究被引量：1
2007年
随着聚焦离子束(focusedion beam,FIB)无掩膜微细加工能力的迅速发展,结合精确定位能力,FIB已成为新型且出色的纳米制造工具.对FIB无掩膜注入单晶硅衬底的注入效果与离子束流、注入剂量的关系进行研究发现,以固定能量注入的离子,当注入剂量恒定,离子浓度随深度的分布与离子束流大小无关;当离子束流恒定,注入离子的表面浓度随注入剂量的增加而增加,但是由于FIB注入的同时会刻蚀材料表面,注入剂量达到饱和值后,会造成材料一定程度的减薄.
王蓓陈忠浩陆海纬宋云曹永明曾韡
关键词：聚焦离子束溅射
静电纺丝法制备过渡金属氧化物纳米丝三维电极及其电化学性能研究
上世纪六、七十年代的石油危机迫使人们去寻找新的替代能源。锂离子电池、燃料电池和贮氢电池作为先进的致密能源正在逐步取代传统的化学电池。其中,锂离子电池因其具有高电压,高容量,大功率,放电平稳等优点受到广泛关注。最近十年,随...
陆海纬
关键词：静电纺丝过渡金属氧化物
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