褚战星
- 作品数：8 被引量：5H指数：2
- 供职机构：北京师范大学更多>>
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- 相关领域：化学工程电子电信轻工技术与工程理学更多>>
- 一种新型193nm正型光致抗蚀剂研究
- 1 简介由二乙烯基醚化合物与成膜树脂、光产酸剂等组成的正型光致抗蚀剂已有一些报道 ,这些二乙烯基醚化合物包括芳香的和脂肪的二乙烯基醚,成膜树脂包括酚醛树脂和含羧基的甲基丙烯酸酯及其衍生物的共聚物,其成像原理如下:
- 王力元郭昕褚战星
- 关键词：丙烯海松酸光致抗蚀剂
- 文献传递
- 几种光产酸剂产酸效率的测定被引量：1
- 2007年
- 溴酚兰水溶液的紫外吸收会随着体系中含酸的量发生变化,在440 nm吸收峰处一定浓度范围内溴酚兰水溶液的吸光度与溶液中酸浓度成正比,可由此测定酸浓度.用这种方法测定了3种不同类型的光产酸剂在聚乙二醇膜层中在低压汞灯(254 nm)照射下的产酸量.其中三嗪光产酸剂的光照产酸能力最强.
- 褚战星翟晓晓王力元李敏
- 关键词：光致抗蚀剂光产酸剂指示剂
- 水溶性光致抗蚀剂研究进展被引量：2
- 2007年
- 本文按传统光化学反应型和化学增幅型两种类型对近10年水溶性光致抗蚀剂的发展状况做了分类总结,并重点介绍了成像反应原理和各体系的优缺点.
- 翟晓晓褚战星王力元
- 松香二酸酯缩醛聚合物、其合成方法及其用途
- 本发明涉及一类松香二酸酯缩醛聚合物及其合成方法。松香二酸包括丙烯海松酸和枞酸二聚体。这两种二酸和各种二乙烯基醚化合物在有机溶剂存在下加热反应得到新型的酯缩醛聚合物。此类聚合物易发生酸致分解反应，因此，由此类缩醛聚合物和光...
- 王力元褚战星
- 文献传递
- 松香二酸酯缩醛聚合物、其合成方法及其用途
- 本发明涉及一类松香二酸酯缩醛聚合物及其合成方法。松香二酸包括丙烯海松酸和枞酸二聚体。这两种二酸和各种二乙烯基醚化合物在有机溶剂存在下加热反应得到新型的酯缩醛聚合物。此类聚合物易发生酸致分解反应，因此，由此类缩醛聚合物和光...
- 王力元褚战星
- 文献传递
- 一种新型深紫外正型光致抗蚀剂材料的研究被引量：2
- 2006年
- 通过松香酸和丙烯酸的Diels-Alder反应得到了一种二酸———丙烯海松酸.丙烯海松酸有大的脂环结构和良好的成膜性,在固体膜层中,它可以和二乙烯基醚,如1,3-二乙烯氧基乙氧基苯,在加热条件下(80℃以上)发生反应,产物在稀碱水中难溶.这样形成的产物在光产酸剂产生的强酸催化下,在温度高于100℃时,可以迅速分解,从而变成稀碱水易溶.因此,用此二酸、二乙烯基醚和产酸剂可组成一种正型的光致抗蚀剂,当用254 nm的低压汞灯曝光时,其感度在30 mJ/cm2以下.
- 褚战星程龙王文君王力元
- 关键词：丙烯海松酸光产酸剂
- 水溶性光致抗蚀剂研究进展
- 本文按传统光化学反应型和化学增幅型两种类型对近10年水溶性光致抗蚀剂的发展状况做了分类总结。重点介绍了成像反应原理和各体系的优缺点。
- 翟晓晓褚战星王力元
- 文献传递
