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刘洪飞
作品数:
1
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供职机构:
电子工业部
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合作作者
阎萍
电子工业部
黄千驷
电子工业部
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作者
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黄千驷
1篇
刘洪飞
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阎萍
年份
1篇
2002
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N型高阻高寿区熔硅单晶片研制
刘洪飞
阎萍
黄千驷
该项目专为军工工程配套制备,探测器件用高性能超高阻高寿硅。该课题采用洁净清洗,防沾污,多次真空提纯,倒置生长单晶,调整热场等多项措施完成了用于探测器件的N型高阻、高寿、高均匀性、高完整性,区熔硅单晶,满足了军工性能指标。
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硅单晶片
晶体生长
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