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刘洪飞

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:电子工业部更多>>
相关领域:理学电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文科技成果

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇单晶片
  • 1篇区熔
  • 1篇晶片
  • 1篇晶体
  • 1篇晶体生长
  • 1篇高阻
  • 1篇硅单晶
  • 1篇硅单晶片
  • 1篇高寿
  • 1篇

机构

  • 1篇电子工业部

作者

  • 1篇黄千驷
  • 1篇刘洪飞
  • 1篇阎萍

年份

  • 1篇2002
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
N型高阻高寿区熔硅单晶片研制
刘洪飞阎萍黄千驷
该项目专为军工工程配套制备,探测器件用高性能超高阻高寿硅。该课题采用洁净清洗,防沾污,多次真空提纯,倒置生长单晶,调整热场等多项措施完成了用于探测器件的N型高阻、高寿、高均匀性、高完整性,区熔硅单晶,满足了军工性能指标。
关键词:
关键词:硅单晶片晶体生长
共1页<1>
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