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光刻投影物镜恒温水套小比例模型的设计与性能测试被引量：1: 2016年; 恒温水套是光刻物镜工作环境温度控制系统的重要组成部分。为了研究恒温水套的关键参数与性能，设计了一个小比例水套模型。恒温温控系统对其提供±0．001℃的去离子水，通过对比三镜光机系统温度变化及热像差变化获取小比例水套的关键参数。实验数据表明，在加入热扰动且环境温度为22．06～22．16℃的情况下，三镜光机系统的内壁温度被控制在（22±0．01）℃以内，波像差在热扰动后迅速恢复至10．12nm，与装调完毕状态基本一致。由此可见，此种水套结构可以满足光刻投影物镜的温度控制要求，可在此基础上设计等比例恒温水套模型。; 彭海峰于新峰秦硕; 关键词：投影物镜温度测试

光刻投影物镜系统中光学元件的轴向宏微调节装置: 光刻投影物镜系统中光学元件的轴向宏微调节装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，为解决现有光学元件轴向调整装置存在的调整行程小，存在倾斜误差的问题，该装置包括电容传感器、镜框、宏微调节机构和导向导轨，电容传感...; 彭海峰巩岩倪明阳赵磊秦硕; 文献传递

一种获得活塞式螺旋桨飞机极限盘旋性能的方法: 本发明公开了一种获得活塞式螺旋桨飞机极限盘旋性能的方法，根据当拉力不能平衡阻力时，此时的速度和坡度就是最小盘旋半径对应的速度和坡度，以获得活塞式螺旋桨飞机的最小盘旋半径；根据在不同速度下，飞机最大推力为边界条件，以获得活...; 秦硕刘永学华欣李伟杰杨永志李万青; 文献传递

基于运动学支撑的透镜光学表面面形及其复现性被引量：7: 2013年; 根据高精度投影光刻物镜的特点,提出了一种运动学支撑结构,并采用实验结合有限元分析的方法研究了该支撑结构引起的透镜光学表面变形以及重复装配过程中透镜光学表面面形的复现性。首先,介绍了运动学支撑结构的原理及镜面变形分析的方法。然后,应用Zernike多项式拟合实测和有限元分析得到的面形,并用两种方法对运动学支撑结构夹持力引起的透镜光学表面面形进行对比,以验证有限元分析模型的正确性。同时,分析了考虑重力情况下运动学支撑结构导致的透镜光学表面变形。最后,用实验的方法测量了运动学支撑结构在重复装配过程中透镜光学表面面形的复现性。实验和分析结果显示,由运动学支撑结构夹持力引起的透镜光学表面面形均方根(RMS)值的实测值为1.004nm,分析值为0.974nm,夹持力及重力综合作用下导致的透镜表面Fringe Zernike拟合面形RMS值为2.538nm,产生的主要像差为离焦、初级三叶像差和二级三叶像差,重复装配过程中引起的透镜光学表面面形的复现性标准差为0.645nm。得到的结果表明,所设计的运动学支撑结构能够保证透镜光学表面面形在重复装配过程中有良好的复现性。; 于新峰巩岩倪明阳秦硕; 关键词：投影物镜复现性有限元法 ZERNIKE多项式

约束反推滑模超机动飞行控制律设计: 提出了一种约束反推二阶滑模超机动飞行控制方法。设计了一种多输入多输出系统的二阶滑模变结构控制算法;在约束反推控制的基础上结合该二阶滑模控制方法进行超机动飞行控制律设计，提高了系统的鲁棒性，削弱了变结构控制的“抖振”现象，...; 秦硕李友毅杨军谢新月芦建辉; 关键词：反推控制超机动飞行二阶滑模控制飞行控制律; 文献传递

飞机超机动最优导引算法研究: 针对超机动攻击导引的特点,从时间最优的机动优化角度出发,基于最优控制理论,研宄了具有超机动能力战斗机的最速角度机动导引攻击问题,在建立战机机动导引数学模型的基础上,提出了各种约束条件、优化指标和寻优方法,推导出了一套最速...; 秦硕巩岩刘永学王志科彭思齐; 关键词：超机动导引最优控制; 文献传递

USB的便携式ARINC429总线通信设备设计: 2010年; 基于Actel公司的ProASIC3系列FPGA和Silicon Labs公司的C8051F340单片机设计了一种便携式ARINC429总线通信设备,着重介绍了整体设计思想以及软硬件设计方法。该设备具有性能可靠、携带方便、成本低廉等特点,可广泛应用于对各种以ARINC429总线作为通信方式的机载设备的通信测试及地面检测维护。; 胡帅张复春丁金鑫秦硕; 关键词：FPGA USB ARINC429 通信测试 C8051F340

多UAV协同路径规划研究被引量：3: 2008年; 将多UAV(Unmanned Aerial Vehicle无人飞行器)协同路径规划分为单机路径规划与多机协同。多机协同在单机路径规划基础上考虑各机的飞行时间、战术攻击策略等。先为每一UAV规划可飞航路,然后以攻击时间为协同变量,对规划路径进行调整,在部分UAV的路径中加入附加机动并(或)调整飞行速度和高度,实现多UAV的协同。仿真试验验证算法有效。; 秦硕朱凡刘永学麻忠文; 关键词：UAV 路径规划

带摆动机构的多线切割机的线性H_∞张力控制被引量：4: 2011年; 针对常规张力控制在带摆动机构的多线切割机系统中精度不高,非线性干扰不稳定的问题,本文分析了系统结构和控制难点,采用干扰观测的线性H∞张力控制建立子系统模型,充分考虑系统中具有子系统模型的动态干扰和未建模动态干扰以及参数和结构的不确定性引起的误差,并给出解决方案.研究了线性H∞控制系统的稳定性,并在系统稳定的条件下,利用Chelosky分解方法,得到动态方程的解,大幅提高系统响应速度.样机的实验结果表明该系统具有系统张力波动小,稳定性能好,断线率低的特点.; 彭思齐戴瑜兴秦硕; 关键词：多线切割机

热扰动条件下投影物镜温度响应的高精度建模被引量：4: 2013年; 针对投影物镜温度控制系统具有多重扰、多时滞和时间常数较大等问题,搭建了投影物镜温控实验平台;研究了实验平台的结构、激励信号设计、数据预处理方法和建模算法,建立了超高精度温度响应模型。首先,考虑光刻机对震动和洁净度的严格要求,设计了远距离串级水冷控制系统;进行了物镜温度的阶跃响应实验,采用两点法建立了物镜的温度响应传递函数(粗建模)。然后,根据获得的物镜阶跃响应传递函数,设计二位式伪随机辨识输入信号的参数,并采用分段线性化方法对输入输出数据进行预处理。最后,设计迭代最小二乘算法,辨识得到物镜的ARMAX温度响应模型(精建模)。基于该模型的物镜温控实验结果表明:在环境温度波动幅值达0.6℃并加入3 W的热扰动条件下,物镜温度稳态误差控制在±0.001℃以内,满足光刻机对投影物镜的超高精度温度控制要求。; 秦硕巩岩于新峰袁文全彭海峰杨怀江; 关键词：投影物镜伪随机信号系统辨识温度控制

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秦硕