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王佳鑫
作品数:
33
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北京大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
黄如
北京大学
黄芊芊
北京大学
吴春蕾
北京大学
王阳元
北京大学
朱昊
北京大学
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电子电信
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北京大学
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黄如
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王佳鑫
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吴春蕾
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黄芊芊
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王阳元
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朱昊
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赵阳
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詹瞻
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王超
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云全新
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张兴
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2017
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2015
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2013
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一种隧穿场效应晶体管的制备方法
本发明公开了一种隧穿场效应晶体管的制备方法,属于CMOS超大规模集成电路(ULSI)中场效应晶体管逻辑器件领域。该方法通过制备工艺设计实现了超陡源结的隧穿场效应晶体管。本发明可以显著改善器件特性;同时,该制备方法与标准的...
黄如
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一种嵌入层异质结隧穿场效应晶体管及其制备方法
本发明公开一种嵌入层异质结隧穿场效应晶体管及其制备方法,属于CMOS超大规模集成电路(ULSI)中场效应晶体管逻辑器件领域。该嵌入层异质结隧穿场效应晶体管的垂直沟道区的两侧分别设有控制栅,该控制栅为L型结构,两个控制栅与...
黄如
吴春蕾
黄芊芊
王佳鑫
朱昊
王阳元
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一种结调制型隧穿场效应晶体管及其制备方法
本发明公开了一种结调制型隧穿场效应晶体管及其制备方法,属于CMOS超大集成电路(ULSI)中的场效应晶体管逻辑器件与电路领域。该隧穿场效应晶体管利用垂直沟道区三面包围的高掺杂源区提供的PN结能有效耗尽沟道区,使得栅下表面...
黄如
黄芊芊
吴春蕾
王佳鑫
詹瞻
王阳元
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一种双层石墨烯隧穿场效应晶体管及其制备方法
一种双层石墨烯隧穿场效应晶体管,底栅介质层位于底栅电极的上方,双层石墨烯有源区位于底栅介质层的上方,金属源电极和金属漏电极分别在双层石墨烯有源区的两端,且各覆盖部分双层石墨烯有源区,金属源电极与金属漏电极选取不同材料,对...
黄如
王佳鑫
黄芊芊
吴春蕾
朱昊
赵阳
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锗基衬底表面钝化方法
本发明公开了一种锗基衬底表面钝化方法,先对锗基衬底进行表面清洗,然后将其放入等离子体腔内,利用多键原子对应的反应气体产生等离子体,对锗基衬底表面进行等离子体浴处理,并且在等离子体浴处理过程中施加引导电场,引导等离子体漂移...
黄如
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云全新
李敏
王佳鑫
安霞
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抑制隧穿晶体管泄漏电流的方法及相应的器件和制备方法
本发明公开了一种抑制隧穿晶体管泄漏电流的方法及相应的器件和制备方法,属于CMOS超大集成电路(ULSI)中的场效应晶体管逻辑器件与电路领域。本发明通过在源区和隧穿结下方的体区之间插入绝缘层,而在源区和沟道之间的隧穿结处不...
黄如
黄芊芊
吴春蕾
王佳鑫
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一种反错层型异质结共振隧穿场效应晶体管及其制备方法
本发明公布了一种反错层型异质结共振隧穿场效应晶体管及其制备方法。该器件包括隧穿源区、沟道区、漏区和位于沟道区上方的控制栅,其中,隧穿源区与沟道区的异质隧穿结的能带结构为反错层型异质结。若为N型器件则在隧穿源区与沟道区的异...
黄如
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一种双层石墨烯隧穿场效应晶体管及其制备方法
一种双层石墨烯隧穿场效应晶体管,底栅介质层位于底栅电极的上方,双层石墨烯有源区位于底栅介质层的上方,金属源电极和金属漏电极分别在双层石墨烯有源区的两端,且各覆盖部分双层石墨烯有源区,金属源电极与金属漏电极选取不同材料,对...
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一种复合机制的条形栅隧穿场效应晶体管及其制备方法
本发明公开了一种复合机制的条形栅隧穿场效应晶体管及其制备方法,属于CMOS超大集成电路(ULSI)中的场效应晶体管逻辑器件与电路领域。该隧穿场效应晶体管通过改变栅形貌,利用条形栅两侧的PN结耗尽效应使得栅下表面沟道能带提...
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抑制输出非线性开启的隧穿场效应晶体管及制备方法
一种抑制输出非线性开启的隧穿场效应晶体管,包括隧穿源区,沟道区,漏区以及位于沟道上方的控制栅,隧穿源区为III-V族化合物半导体混合晶体,该混合晶体的混晶比沿垂直器件表面方向连续变化,隧穿源区与沟道交界面处的异质隧穿结的...
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