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梁厚蕴
作品数:
3
被引量:2
H指数:1
供职机构:
北京有色金属研究总院
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
一般工业技术
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合作作者
张学华
北京有色金属研究总院
娄朝刚
北京有色金属研究总院
石东奇
北京有色金属研究总院
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金属学及工艺
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磁控溅射
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二氧化锆
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ZRO
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N
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V
机构
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北京有色金属...
作者
3篇
娄朝刚
3篇
张学华
3篇
梁厚蕴
1篇
石东奇
传媒
2篇
稀有金属
1篇
真空
年份
1篇
1996
2篇
1992
共
3
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大面积热反射薄膜材料的制备
1996年
大面积热反射薄膜材料的制备梁厚蕴娄朝刚张学华闫宝明(北京有色金属研究总院100088)关键词:磁控溅射热反射薄膜材料薄膜材料以其特有的物理、化学性能应用在材料改性、微电子学、建筑材料以及装饰、装璜等方面。其中,在玻璃上制备热反射薄膜材料在现代建筑上用...
梁厚蕴
娄朝刚
张学华
闫宝明
关键词:
磁控溅射
热反射
用电子束蒸发法制备ZrO_2薄膜
被引量:1
1992年
采用电子束蒸发的方法制备ZrO2薄膜,经X射线衍射和X光电子能谱分析证实:薄膜为具有立方结构的ZrO2薄膜,薄膜中缺氧,Y原子的百分含量比蒸发原料中高.
娄朝刚
张学华
梁厚蕴
石东奇
华寿美
关键词:
电子束
蒸发
二氧化锆
磁控溅射Ti-Al-V-N涂层研究
被引量:1
1992年
用两种靶材,采用磁控反应溅射沉积Ti-Al-V-N薄膜。XRD和XPS测定薄膜的结构主要为BI-NaCl型Ti(Al、V)N相。SEM观察确定微观结构比较致密,晶粒直径约0.1μm;元素面分布均匀;主要成份与靶材基本一致。氧化试验表明Ti(Al、V)N抗氧化性远优于TiN,高铝薄膜尤为明显,对Cu、Al等浸润角动态观察和测量结果表明:Ti(Al、V)N涂层明显区别于无涂层的合金钢抛光表面。
华寿美
娄朝刚
梁厚蕴
祁光禄
张学华
关键词:
磁控溅射
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