杨忠山
- 作品数：7 被引量：11H指数：2
- 供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术电气工程医药卫生更多>>
- 化学放大胶在电子束光刻技术中的应用被引量：4
- 2003年
- 化学放大胶(ChemicallyAmplifiedResists,简称CARs)是下一代光刻技术中极具发展潜力的一种光学记录介质。介绍了化学放大胶在电子束光刻技术中图形制作工艺的关键步骤以及目前常用的几种化学放大胶,分析了将化学放大胶用于电子束曝光工艺应注意的问题和它将来的发展趋势。
- 田丰韩立杨忠山
- 关键词：电子束光刻技术抗蚀剂CARS电子束曝光微电子产业
- 湿法腐蚀制作微型针阵列
- 简要介绍利用湿法工艺制作微型针的工艺过程,这种微型针可以穿透皮肤,增强药物的渗透性,有可能为透皮性给药技术提供一种较好的解决方法.
- 杨忠山黄经简谭敏
- 关键词：微细加工
- 文献传递
- 压电陶瓷管非线性校正被引量：5
- 2005年
- 提出了一种简单、实效的压电陶瓷管非线性校正法。首先用迈克尔逊干涉仪分别测定压电陶瓷管的X向和Y向非线性曲线,然后求非线性曲线的拟合函数及其反函数,最后依此反函数通过设计原子显微镜(AFM)扫描程序给压电陶瓷管X、Y向施加非等差距的电压来产生线性位移。实验证明,此法能够有效地消除由压电陶瓷管的非线性引起的扫描图像畸变,从而有利于获得物体表面实貌的真实扫描图像。
- 王丹丹韩立杨忠山
- 关键词：非线性图像畸变
- 透过皮肤给药的微型针阵列片及其制造方法
- 本发明属于将介质输入体内的器械，涉及一种用于透过皮肤给药的微型针阵列片及其制造方法。本发明微型针阵列片以不锈钢或钛合金薄片为基底片，微型针阵列在基底片上竖立后，基底片上自然形成微孔阵列。本发明微型针阵列片采用“掩模曝光腐...
- 杨忠山黄经筒
- 文献传递
- 电子束直写技术制作GHz频带声表面波器件被引量：2
- 2005年
- 电子束具有刻写微细图形尺寸的能力,容易实现亚微米宽格栅的声表面波器件制造,因此可达到器件的高频化和在设计上更具灵活性。该文介绍了器件图形的数据处理策略,基片的制备和工艺过程。描述了在电子束曝光过程中采取的一些独特方法,生产了性能良好的吉赫兹频带滤波器、谐振器和延迟线等声表面波器件。
- 杨忠山范子坤田丰韩立
- 关键词：半导体工艺
- 透过皮肤给药的微型针阵列片及其制造方法
- 本发明属于将介质输入体内的器械，涉及一种用于透过皮肤给药的微型针阵列片及其制造方法。本发明微型针阵列片以不锈钢或钛合金薄片为基底片，微型针阵列在基底片上竖立后，基底片上自然形成微孔阵列。本发明微型针阵列片采用“掩模曝光腐...
- 杨忠山黄经筒
- 文献传递
- 电子束直写技术在声表面波器件制作中的应用
- 声表面波器件从1965年诞生到现在已走过了约38年的历程,目前已经发展成为一个巨大的新兴技术产业. 在电视、广播、通信雷达、遥测遥控等领域得到了广泛的应用.成为整机系统不可缺少的关键器件.近年来由于通信技术的发展,特别是...
- 杨忠山田丰韩立范子坤
- 关键词：电子束声表面波器件
- 文献传递
