徐世友
- 作品数：12 被引量：13H指数：2
- 供职机构：浙江大学材料科学与工程学系硅材料国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
- HF-PECVD法生长BN_(1-x)P_x薄膜
- 2005年
- 以光学石英片为衬底,采用热丝 等离子体辅助化学气相沉积方法(HF PECVD)沉积了BN1-xPx薄膜。通过 X 射线衍射(XRD)、X 射线光电子能谱(XPS)、扫描电子显微镜 ( SEM )、X 射线能谱(EDAX)、紫外 可见(UV VIS)等测试手段研究了薄膜的化学组成、结构以及 P元素掺杂量对 BN1-xPx 薄膜材料光学带隙的调制规律。结果表明所沉积薄膜为B、P、N组成的三元化合物,没有相偏析,定向生长,与石英衬底结合牢固。BN1-xPx 薄膜中随着磷元素相对含量的增加,其光学带隙相应窄化,即通过控制磷的掺杂量可以有效调整该薄膜材料的光学带隙。
- 徐世友张溪文韩高荣
- 关键词：磷掺杂光学带隙
- 介质阻挡放电化学气相沉积法制备DLC薄膜研究被引量：8
- 2005年
- 采用介质阻挡化学气相沉积法(DBD CVD)在Si及石英衬底上、室温下成功的沉积出光滑、致密、均匀、膜基结合较好的类金刚石(DLC)薄膜,并考察了电源电压对类金刚石薄膜结构及性能的影响。拉曼光谱(Raman)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、紫外可见光谱(UV Vis)、高阻仪等测试及分析结果显示DBD CVD 法适于制备高质量硬质DLC薄膜。对DBD放电做了理论分析,结果与工艺研究的结论相符合。
- 张溪文徐世友韩高荣
- 关键词：DLC拉曼光谱
- 介质阻挡放电常压化学气相沉积技术及其在薄膜制备中的应用被引量：3
- 2003年
- 介质阻挡放电(DBD)是一种可以在常压下工作的放电形式,以这种放电形式为离子源的介质阻挡化学气相沉积(DBD-CVD)技术可以以较高的反应物流量实现多种薄膜的沉积,因而有广阔的应用前景。综述了DBD技术的发展历史及相关理论,着重介绍了DBD-CVD技术及其应用现状,并提出展望。
- 徐世友张溪文韩高荣
- 关键词：介质阻挡放电DBD化学气相沉积半导体
- 石英衬底上的BPxN1-x薄膜沉积及P对其光学带隙调制的研究
- 以光学石英为衬底,采用热丝辅助射频等离子体增强化学气相沉积方法(HF-PECVD)沉积了BPXN1-X薄膜。通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱(EDAX)、紫外-可见(UV-VIS)等测试手段...
- 张溪文徐世友韩高荣
- 关键词：磷掺杂光学带隙
- 文献传递
- BP_xN_(1-x)薄膜的制备及磷元素对其光学能隙的影响被引量：1
- 2003年
- 本文从应用出发 ,选择光学石英为衬底 ,采用热丝辅助射频化学气相沉积的方法沉积BPxN1 -x薄膜 ,对样品进行了X射线衍射 (XRD)、扫描电子显微镜 (SEM)、紫外 可见等测试。XRD、SEM结果显示薄膜多晶态 ,表面形貌随时间变化 ,最终为胞状 ;紫外 可见光光谱结果显示BPxN1 -x薄膜的紫外吸收边随沉积时间的加长、PH3流量的增加而向长波长方向移动。因此 ,该材料的光学能隙可以通过生长工艺适当调整。另外 ,BPxN1
- 徐世友祁英昆张溪文韩高荣
- 关键词：磷元素掺杂氮化硼
- 化学气相沉积法制备宽带硬质薄膜材料
- 考虑到目前宽带硬质半导体薄膜材料制备中存在的问题,对传统的CVD方法进行改造,以新型的DBD为离子源成功构建出运行稳定的DBD-CVD系统,沉积出宽带硬质DLC薄膜;采用热丝与电容耦合式射频等离子体共同辅助CVD的方法,...
- 徐世友
- 关键词：硬质薄膜电容耦合
- 文献传递
- 石英衬底上的BPxN1-x薄膜沉积及P对其光学带隙调制的研究
- 2004年
- 以光学石英为衬底,采用热丝辅助射频等离子体增强化学气相沉积方法(HF-PECVD)沉积了BPxN1-X薄膜.通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱(EDAX)、紫外-可见(UV-VIS)等测试手段研究了薄膜的化学组成、结晶状况,以及P元素掺杂对BPxN1-X薄膜材料光学带隙的调制规律.结果表明,所沉积薄膜具有多晶团聚、定向生长的特点,其表面形貌随时间而变化,最后发展成多晶球状密堆成膜,与石英衬底结合牢固.BPxN1-x薄膜的磷元素相对含量随磷烷流量增加而增加,光学带隙相应窄化.通过控制磷的掺杂量可以有效调整该薄膜材料的光学带隙.
- 张溪文徐世友韩高荣
- 关键词：磷掺杂光学带隙
- 石英衬底上的BP<,x>N<,1-x>薄膜沉积及P对其光学带隙调制的研究
- 以光学石英为衬底,采用热丝辅助射频等离子体增强化学气相沉积方法(HF-PECVD)沉积了BP<,х>N<,1-х>薄膜.通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱(EDAX)、紫外-可见(UV-VIS...
- 张溪文徐世友韩高荣
- 关键词：磷掺杂光学带隙化学气相沉积法
- 文献传递
- 石英衬底上的BPxN1-x薄膜沉积及P对其光学带隙调制的研究
- 以光学石英为衬底,采用热丝辅助射频等离子体增强化学气相沉积方法(HF-PECVD)沉积了BPXN1-X薄膜.通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱(EDAX)、紫外-可见(UV-VIS)等测试手段...
- 张溪文徐世友韩高荣
- 关键词：磷掺杂光学带隙
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- 石英衬底上的BPxN1-x薄膜沉积及P对其光学带隙调制的研究
- 以光学石英为衬底,采用热丝辅助射频等离子体增强化学气相沉积方法(HF-PECVD)沉积了BPXN1-X薄膜.通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱(EDAX)、紫外-可见(UV-VIS)等测试手段...
- 张溪文徐世友韩高荣
- 关键词：磷掺杂光学带隙
